Auf der Linie
Die Temperaturdrift ist kein Problem, das man nur an der Tafel lösen kann. Sie zeigt sich als Linienbreitenvariation, Photoresist, der nach dem Softbake nicht haftet, und Ertragseinbußen, die man am Ende des Monats spürt. In der Lithografie und bei der Verarbeitung von Photoresist setzt der Backprozess das thermische Budget fest. Wenn die heiße Zone den Sollwert über die Wafer-Oberfläche nicht halten kann, bricht die Wiederholbarkeit zusammen.
Worauf wir aufgebaut haben
Wir haben das 2700W klare Quarz-Infrarotrohr um eine Sache herum entwickelt: stabile Wärme, wo der Prozess sie benötigt. Quarz überträgt kurzwelliges Infrarotlicht sauber, sodass die Reaktion schnell ist und die Kontrolle eng bleibt. Die 2700W Nennleistung gibt Ihnen die Leistungsdichte, um nach Türzyklen schnell wieder aufzuheizen, ohne Überschwinger. Über den beheizten Bereich hinweg streben wir eine gleichmäßige Wafer-Temperatur innerhalb von ±0,1°C an, sodass kritische Abmessungen von Lauf zu Lauf innerhalb der Spezifikation bleiben.
Warum es in der Produktion standhält
Dieses Rohr wird direkt in den thermischen Stapel für Softbake- und Hardbake-Stationen eingebaut, was dazu beiträgt, die Profile des Photoresists konsistent zu halten und Ihnen mehr Spielraum bei Defekten zu geben. Es läuft in Reinräumen der Klasse 1 bis Klasse 100 mit geringer Gasabgabe und ohne Partikelgenerierung, sodass Sie nicht gegen Partikelzahlen auf dem Wafer ankämpfen müssen. Der Vorteil ist eine bessere Prozess-Toleranz, weniger Ausreißer und wartungsintervalle, die Sie planen können. Auch der Energieverbrauch bleibt diszipliniert, da das Rohr bei Bedarf mit minimalen Standby-Verlusten beheizt wird.
Worauf man achten sollte
Klares Quarz funktioniert, benötigt aber Respekt. Handhaben Sie es mit sauberen Handschuhen und verwenden Sie klassifizierte Halterungen – andernfalls riskieren Sie Oberflächenkontamination. Passen Sie die Geometrie des Reflektors und den Luftstrom an das Rohr an; andernfalls werden heiße Stellen und ungleichmäßige Gleichmäßigkeit wieder auftreten. Planen Sie thermisch-mechanische Spannungen in der Halterung ein. Thermische Ausdehnung ist real, und eine Fehljustierung wird die Gleichmäßigkeit im Laufe der Zeit beeinflussen.