Die Heizelemente sauber halten
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, gibt es keinen Platz für Fehler. Schon eine winzige Staubpartikel oder etwas ausgasender Stoff vom Heizelement kann dazu führen, dass die Effizienz drastisch sinkt. Das ist ein Albtraum.
Deshalb haben wir auf Standardmaterialien verzichtet und stattdessen hochreinen synthetischen Quarz für unsere IR-Lampen verwendet.
Warum Quarz wichtig ist
Normaler Glas eignet sich nicht dafür. Es bricht unter thermischem Stress oder ist einfach nicht rein genug für die Verarbeitung von Halbleitern. Wir verwenden daher geschmolzenen Quarz mit niedrigem Hydroxylgehalt. Dadurch entstehen beim Erhitzen und Abkühlen keine mikroskopisch kleinen Siliziumpartikel. Zudem sorgt die Quarzhülle für eine luftdichte Abdichtung. Der Wolframfaden bleibt somit an seinem Platz – weit entfernt von der Prozessumgebung.
Wärme genau dort, wo sie benötigt wird
Unsere IR-Lampen konzentrieren die Energie in einem sehr schmalen Spektralbereich. Das ist der Vorteil: Man kann die gewünschten Temperaturen auf der Waferoberfläche erreichen, ohne dass das gesamte Gerät zu einem Ofen wird. Die Aufheizzeit ist sehr kurz.
Aber es gibt einen Haken: Da die Wärme so stark konzentriert ist, muss man die Kühlsysteme richtig einstellen. Wenn die Luftzufuhr nicht richtig funktioniert, können die Gehäuse beschädigt werden oder die Sensoren zerstört werden. Es handelt sich dabei um einen Kompromiss – doch er lohnt sich wegen der Geschwindigkeit.
Kein Kleber, keine Partikel, keine Probleme
Wir haben diese Lampen so entwickelt, dass sie problemlos eingesetzt werden können. Wir wissen, dass Stillstandszeiten unerwünscht sind – deshalb haben wir sie so konstruiert, dass sie leicht ausgetauscht werden können. Wir haben außerdem auf Kleber und Beschichtungen verzichtet. Warum? Weil diese Materialien mit der Zeit abplatzen. Stattdessen nutzen wir mechanische Abdichtungen, die auch bei Vakuumbedingungen oder unter kontrollierter Atmosphäre ihre Funktion behalten. Es ist einfach, mechanisch und sauber.
Eine Warnung
Denken Sie daran: Hochreiner Quarz ist spröde. Er kann extreme Temperaturen aushalten – doch er hasst Erschütterungen. Wenn die Befestigungsbügel nicht gedämpft sind, kann die Lampe gegen den Rahmen schlagen und dadurch zerbrechen. Wenn dann die Vakuumabdichtung wegbricht, brennt der Wolframfaden sofort aus. Halten Sie die Lampe stabil – dann wird sie Ihnen gute Dienste leisten.