http://ir-heat-goods.com/de/tags/backen/ Recent content in Backen on Quality Infrared Heating Products Hugo de Mon, 22 Jun 2026 23:24:50 +0800 http://ir-heat-goods.com/de/posts/photoresist-pre-bake-infrared-heater/ Mon, 22 Jun 2026 23:24:50 +0800 http://ir-heat-goods.com/de/posts/photoresist-pre-bake-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Infrarotheizer zur Vorheizung des Photoresists"></p> <p>In der Lithografieabteilung führt bereits eine leichte Temperaturabweichung vonhalb eines halben Grades dazu, dass die Kontrolle der kritischen Abmessungen nicht mehr gewährleistet ist. Die Menge an Lösungsmitteln im Fotoresistent wird unvorhersehbar – dadurch sinkt die Ausbeute. Wir haben unsere Infrarotheizgeräte so konzipiert, dass diese Unwägbarkeiten beseitigt werden.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Wir nutzen Infrarotstrahler mit schneller Reaktionszeit und präziser Spektralkontrolle. Dadurch erfolgt eine schnelle Erwärmung ohne Überschreiten der gewünschten Temperaturwerte. So wird eine Homogenität von ±0,1°C auf der gesamten Oberfläche des Wafer erreicht – dies wird unter Produktionsbedingungen überprüft. Die Kompatibilität mit Reinräumen ist selbstverständlich – die Heizgeräte entsprechen den Anforderungen von ISO-Klasse 1–100. Dadurch bleibt die Integrität des Films erhalten. Die Wiederholgenauigkeit liegt bei ±0,2°C pro Prozessschritt – dadurch bleibt das Prozessfenster über Tausende von Wafern hinweg konstant.</p>