Hersteller von Infrarotlampen aus Kohlenstofffasern

Thu, 23 Jul 2026 11:35:42 +0800

Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem der Partikelentstehung. Schon ein winziger Teilchen oder geringe Mengen an Gasen, die von billigen Heizelementen freigesetzt werden, können dazu führen, dass Ihre Wafer oder optischen Beschichtungen beschädigt werden. Das ist frustrierend.

Deshalb machen wir es anders: Wir verwenden Heizelemente aus Kohlenstofffaser in Kombination mit Hochreinquarzkammern.

Warum wir auf Quarz setzen
Wir verwenden Hochreinquarz, weil er die Hitze besser verträgt. Er reagiert nicht unerwartet auf Temperaturschwankungen und gibt keine metallischen Verunreinigungen in den Arbeitsraum ab. Billigeres Glas bricht oft bei steigenden und fallenden Temperaturen, während Quarz stabil bleibt.

Heizer zur Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren

Fri, 26 Jun 2026 04:51:38 +0800

In der Lithografie ist die Genauigkeit bei der Temperaturregulierung von entscheidender Bedeutung. Eine Abweichung von 2°C während des Weichbrennvorgangs kann die Kontrolle über die CD-Struktur ruinieren. Uneinheitliche Aushärtung wiederum führt zu Unebenheiten an den Rändern der Linien. Deshalb haben wir einen Heizer auf Basis von Kohlenstoffnanoröhren entwickelt – damit entfällt die Notwendigkeit, die Temperatur manuell einzustellen, wenn es darum geht, die Wafer zu trocknen oder den Fotoleiter vorzubereiten.

Was wirklich wichtig ist: Der Heizer nutzt Kohlenstoffnanoröhren, um eine schnelle und stabile Infrarotenergie bereitzustellen. Dadurch bleibt die Temperatur auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1°C konstant. Die Reaktionszeit beträgt weniger als eine Sekunde – dadurch wird verhindert, dass die Temperatur zu stark ansteigt. Dadurch bleiben die dünnen Schichten geschützt und der Energieverbrauch bleibt niedrig. Der Heizer eignet sich für Reinraumbetriebe der Klassen 1–100. Er erzeugt während seiner Betriebszeit keine Partikel und zeichnet sich durch hohe Zuverlässigkeit aus. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant – mit weniger als 5% Leistungsabfall. Dadurch bleibt die Reproduzierbarkeit hoch.

Kohlenstoff on Quality Infrared Heating Products

Hersteller von Infrarotlampen aus Kohlenstofffasern

Heizer zur Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren