Ersatz der Mattson RTP Lampe

Thu, 25 Jun 2026 04:37:13 +0800

In der Fertigungshalle bedeutet das Ausfallen einer Lampe in einer RTP-Gerätelösung nicht nur, dass die Maschine stillsteht – vielmehr wird dadurch auch die gesamte Produktionslinie zum Stillstand gebracht. Die Wafern erhalten somit keinen ausreichenden Wärmeeinfluss. Die Profile des Fotoresists beginnen zu schwanken. Plötzlich leiden auch die Kontrolle über die CD-Qualität sowie die Genauigkeit der Filmschichtdicke. Die von Mattson hergestellten Ersatzlampen sorgen dafür, dass der thermische Prozess zuverlässig, reibungslos und konstant abläuft.

Was wirklich wichtig ist: Wir verwenden Halogenlampen mit Kurzwellenausstrahlung – dadurch wird eine schnelle, lokalisierte Erwärmung sowie eine stabile Spektralantwort erreicht. Dadurch entsteht eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Wafer-Oberfläche innerhalb von ±0,1°C im aktiven Bereich. Für die Quarzkomponenten werden Materialien gewählt, die wenig Gase abgeben und eine hohe Widerstandsfähigkeit gegen thermische Belastungen aufweisen. Dadurch bleibt die Anzahl der Partikel nahe bei Null – was den Anforderungen der Saalklasse 1–100 entspricht, ohne dass die Betriebszeit eingeschränkt wird. Die Lampen sind für einen 24/7-Betrieb geeignet. Feldtests zeigen, dass sie mehr als 5.000 Stunden lang zuverlässig funktionieren, ohne dass es zu Abweichungen in der Leistung kommt. Die Leistung und Spannung werden auf die Anforderungen der Mattson-Geräte abgestimmt. Die mechanischen Anschlüsse werden mit präzisen Toleranzen gefertigt, sodass die Ausrichtung jedes Mal korrekt erfolgt.

Mattson on Quality Infrared Heating Products

Ersatz der Mattson RTP Lampe