Heizer zur Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren

Fri, 26 Jun 2026 04:51:38 +0800

In der Lithografie ist die Genauigkeit bei der Temperaturregulierung von entscheidender Bedeutung. Eine Abweichung von 2°C während des Weichbrennvorgangs kann die Kontrolle über die CD-Struktur ruinieren. Uneinheitliche Aushärtung wiederum führt zu Unebenheiten an den Rändern der Linien. Deshalb haben wir einen Heizer auf Basis von Kohlenstoffnanoröhren entwickelt – damit entfällt die Notwendigkeit, die Temperatur manuell einzustellen, wenn es darum geht, die Wafer zu trocknen oder den Fotoleiter vorzubereiten.

Was wirklich wichtig ist: Der Heizer nutzt Kohlenstoffnanoröhren, um eine schnelle und stabile Infrarotenergie bereitzustellen. Dadurch bleibt die Temperatur auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1°C konstant. Die Reaktionszeit beträgt weniger als eine Sekunde – dadurch wird verhindert, dass die Temperatur zu stark ansteigt. Dadurch bleiben die dünnen Schichten geschützt und der Energieverbrauch bleibt niedrig. Der Heizer eignet sich für Reinraumbetriebe der Klassen 1–100. Er erzeugt während seiner Betriebszeit keine Partikel und zeichnet sich durch hohe Zuverlässigkeit aus. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant – mit weniger als 5% Leistungsabfall. Dadurch bleibt die Reproduzierbarkeit hoch.

Nanoröhre on Quality Infrared Heating Products

Heizer zur Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren