```Python on Quality Infrared Heating Products

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Sun, 19 Jul 2026 15:24:35 +0800

Die Heizelemente sauber halten
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, gibt es keinen Platz für Fehler. Schon eine winzige Staubpartikel oder etwas ausgasender Stoff vom Heizelement kann dazu führen, dass die Effizienz drastisch sinkt. Das ist ein Albtraum.

Deshalb haben wir auf Standardmaterialien verzichtet und stattdessen hochreinen synthetischen Quarz für unsere IR-Lampen verwendet.

Warum Quarz wichtig ist
Normaler Glas eignet sich nicht dafür. Es bricht unter thermischem Stress oder ist einfach nicht rein genug für die Verarbeitung von Halbleitern. Wir verwenden daher geschmolzenen Quarz mit niedrigem Hydroxylgehalt. Dadurch entstehen beim Erhitzen und Abkühlen keine mikroskopisch kleinen Siliziumpartikel. Zudem sorgt die Quarzhülle für eine luftdichte Abdichtung. Der Wolframfaden bleibt somit an seinem Platz – weit entfernt von der Prozessumgebung.

Infrarotheizer für die Reparatur von Fertigungsgeräten

Wed, 01 Jul 2026 12:33:12 +0800

Im Produktionsbereich bedeutet ein defekter Heizer nicht nur Wartungsarbeiten – es führt auch zu Verschlechterungen in der Produktivität und im Zeitplan. Wenn ein Modul für die Behandlung von Schichten eine Reparatur benötigt oder wenn ein Heizkopf ausgetauscht werden muss, kann eine falsche Heizquelle dazu führen, dass Partikel in das Gerät gelangen und so Kontaminationen verursachen. Genau deshalb haben wir unsere Infrarotheizgeräte speziell für solche Situationen entwickelt.

Was technisch wichtig ist: Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahler in Kombination mit Quarzkörpern. Dadurch entsteht eine schnelle, gezielte Erwärmung bei präziser Temperaturregulierung. In dem beheizten Bereich bleibt die Homogenität bei ±0,1°C – das ist entscheidend, wenn nach einer Wartung wieder die richtigen Bedingungen für die Behandlung des Fotoleiters geschaffen werden müssen.