http://ir-heat-goods.com/de/tags/sp%C3%BClen/ Recent content in Spülen on Quality Infrared Heating Products Hugo de Sat, 27 Jun 2026 04:42:48 +0800 http://ir-heat-goods.com/de/posts/waterproof-infrared-lamp-for-rinse/ Sat, 27 Jun 2026 04:42:48 +0800 http://ir-heat-goods.com/de/posts/waterproof-infrared-lamp-for-rinse/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Wasserdichte Infrarotlampe zum Spülen"></p> <p>Am feuchten Ende der Lithografieanlage stellt ein Spülvorgang, bei dem Wasserreste oder ungleichmäßige Hitzeverteilung entstehen, kein kleines Problem dar. Es handelt sich dabei vielmehr um eine Quelle für Partikel sowie um Fehler in der Dimensionierung. Es wird eine Heizung benötigt, die schnell reagiert, eine saubere Trocknung bewirkt und diesen Vorgang wiederholt – ohne Feuchtigkeit oder Partikel in den Fluss zurückzuleiten.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Wir haben für den Spülvorgang eine wasserdichte Infrarotlampe entwickelt, die als Kurzwellen-Infrarotquelle fungiert: Quarzkörper, Halogenfaden, schnelle Reaktionszeit, stabile Leistung. Man sollte eine Wellenlänge wählen, die vom Wasser effizient absorbiert wird – so wird die Schicht schnell erwärmt und gleichzeitig trocken, ohne dass das Substrat beschädigt wird. Die thermische Homogenität im Zielbereich sollte bei ±0,1°C liegen, und die Temperaturgenauigkeit muss hoch sein, damit der thermische Zustand des Photoresists innerhalb der Spezifikationen bleibt.</p>