Deje de permitir que el proceso de secado arruine su rendimiento
Si opera en una sala limpia de clase 100, ya conoce bien ese problema. Un solo grano de polvo o una partícula microscópica proveniente de un elemento calefactor puede dañar la oblea del sensor MEMS. De repente, la tensión superficial del material disminuye, y su rendimiento también disminuye. Es frustrante, y, francamente, también es costoso.
Por eso hemos pasado a usar lámparas de infrarrojos hechas de cuarzo sintético de alta pureza. Sin partículas extrañas, sin emisiones de gases. Solo calor puro.
Por qué el cuarzo es importante
La mayoría de los vidrios no pueden soportar el calor sin romperse o liberar esos molestos compuestos orgánicos volátiles (COVs). Utilizamos sílice fundida porque permanece estable incluso cuando las temperaturas son muy altas.
Piense en la carcasa de cuarzo como una especie de bóveda que protege el filamento de tungsteno del entorno de la sala limpia. Así, obtiene el calor necesario, pero no hay contacto físico ni flujo de aire que pueda llevar contaminantes a las obleas. Es una forma mucho más segura de trabajar.
Obtener el calor adecuado
El truco al secar con MEMS es actuar rápidamente. Hay que evaporar los líquidos de enjuague cuanto antes, pero no se puede sobrecalentar el sustrato.
Nuestras lámparas de infrarrojos utilizan radiación de onda corta que penetra directamente en la capa de líquido. Podemos ajustar la potencia y la tensión según el tamaño específico de la oblea, de modo que sea una solución personalizada y no algo universal.
Pero hay algo importante: cuando se utiliza al máximo estas lámparas para acortar unos segundos el ciclo de secado, sus extremos se calientan mucho. Realmente mucho. Es necesario asegurarse de que la carcasa tenga un sistema eficaz de disipación de calor o esté refrigerada por agua. De lo contrario, la estructura de la sala limpia podría deformarse, y nadie quiere lidiar con eso.
Conectarlas y mantenerlas funcionando
Hemos mantenido los conectores estándar. ¿Por qué? Porque queremos que sean un reemplazo sencillo para los módulos de secado que ya posee. Tienen un tamaño reducido, por lo que pueden colocarse más cerca de la oblea para lograr una mayor eficiencia. También eliminamos los adhesivos y recubrimientos, ya que estos terminan desprendiéndose con el tiempo. En lugar de eso, se trata de una conexión mecánica simple.
Y cuando una lámpara se quema, basta con reemplazarla. No es necesario pasar horas recalibrando todo el sistema de control térmico de la cámara. Puede volver a trabajar de inmediato.