En la planta de fabricación, las temperaturas de horneado suave y duro no solo determinan el proceso de horneado, sino también el espesor de las capas depositadas en los discos. Una desviación de 0.5°C ya es suficiente para que los discos se vean afectados. Si además se genera polvo durante los ciclos de funcionamiento de las lámparas, esto afectará negativamente la calidad final de los productos.
Lo que se necesita es un calor preciso y estable, que pueda aplicarse directamente en las herramientas existentes, sin necesidad de recalibrar toda la línea de producción.
Suministramos lámparas semiconductoras diseñadas para adaptarse a las especificaciones térmicas y eléctricas de los equipos internacionales. De este modo, se obtiene un reemplazo válido y equivalente. Los perfiles de onda corta y media están ajustados para garantizar una uniformidad térmica en todo el área de trabajo, manteniendo una variación de ±0.1°C durante las etapas críticas de horneado.
Los elementos de cuarzo y halógeno permiten una respuesta rápida y una salida estable, lo que ayuda a controlar el consumo de energía y a proteger las capas delicadas. La compatibilidad con salas limpias de clase 1–100 está garantizada, y no se genera ningún tipo de partícula, gracias al monitoreo en tiempo real durante el encendido y enfriamiento de las lámparas. El controlador está diseñado para funcionar 24/7, con una vida útil de más de 5,000 horas y una reducción del rendimiento menor al 5%.
En la litografía y el procesamiento de fotoreactivos, la precisión de la temperatura es clave para determinar la calidad del producto y el tiempo necesario para completar el proceso. Estas lámparas estabilizan la curva de horneado, mejoran la repetibilidad entre lotes y reducen las variaciones causadas por el envejecimiento de las lámparas o por fluctuaciones térmicas.
Se pueden mantener las mismas recetas de proceso y las mismas herramientas, al mismo tiempo que se reduce el consumo de energía gracias a una regulación eficiente y rápida. La fiabilidad significa menos interrupciones inesperadas y períodos de mantenimiento que se pueden planificar con facilidad.
La instalación es compatible con los conectores y controladores estándar, pero es necesario verificar la tensión, el tipo de conector y las distancias mecánicas según la versión específica de la herramienta. Algunas herramientas más antiguas requieren una calibración del firmware para garantizar una distribución uniforme de la radiación; nosotros proporcionamos el procedimiento para hacerlo.
Operar a una tensión inferior a la nominal puede prolongar la vida útil de la lámpara, pero también puede incrementar el tiempo de horneado. Es importante que la curva de horneado sea compatible con las especificaciones del fotoreactivo utilizado.