حفظ تمیزی ویفرها در طول فرآیند خشک کردن
اگر از اتاقهای پاکسازی درجه ۱۰۰ استفاده میکنید، قطعاً میدانید که هیچ جایی برای اشتباه وجود ندارد. حتی یک ذره گرد و غبار یا مقدار کمی گاز ناشی از عنصر گرمایشی، میتواند باعث از بین رفتن کل محموله شما شود. این وضعیت واقعاً وحشتناک است.
به همین دلیل، ما از استفاده از مواد استاندارد خودداری کرده و به جای آنها از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای لامپها و منعکسکنندههای مورد استفاده استفاده کردهایم.
چرا کوارتز اهمیت زیادی دارد؟
مشکلات مربوط به شیشههای ارزان یا کوارتز با کیفیت پایین این است که آنها نمیتوانند گرما را تحمل کنند. وقتی که گرما به آنها وارد میشود، ناخالصیها شروع به تجزیه میکنند. در نتیجه، ترکیبات 유기ی فرار زیادی تولید میشود و لامپها نیز دچار مشکلاتی میشوند.
کوارتز با خلوص بالا مشکلی از این دست ندارد؛ این ماده میتواند تغییرات دمایی را بدون پوسیدگی یا تولید ذرات، تحمل کند. در نتیجه، لامپها تمیز باقی میمانند و ویفرها نیز همینطور.
رساندن گرما به جای مناسب
در واقع، لامپ بیفایده است اگر منعکسکننده آن مشکل داشته باشد. ما زمان زیادی را صرف بهینهسازی ساختار لامپها کردهایم تا گرما دقیقاً به سطح ویفرها منتقل شود.
به دلیل تمرکز انرژی، دمای مورد نیاز برای خشک کردن ویفرها به سرعت حاصل میشود. علاوه بر این، سیستم تهویه مطبوع نیازی به کار بیش از حد برای خنک کردن اتاق ندارد.
اما یک نکته مهم: این انرژی متمرکز باعث میشود که بدنه لامپ بسیار گرم شود. حتماً مطمئن شوید که فنهای خنککننده شما قادر به انجام کار خود هستند؛ در غیر این صورت، ممکن است لامپها آسیب ببینند.
نصب لامپها و حفظ تمیزی آنها
ما سعی کردهایم که اندازه لامپها به گونهای باشد که بتوان آنها را به راحتی جایگزین لامپهای قدیمی کرد، بدون اینکه نیاز به جدا کردن سیمهای موجود باشد.
برای حفظ تمیزی کامل، از چسبها و پلاستیکهای ارزانقیمت استفاده نکردهایم. همه چیز یا با روش جوشکاری یا با روش مکانیکی متصل میشود.
یک نکته آخر: هنگام جایگزینی لامپها، هرگز از دستهای خالی خود برای لمس کوارتز استفاده نکنید. روغنهای موجود در پوست شما میتواند روی سطح کوارتز تأثیر بگذارد و باعث سوختن لامپ شود. حتماً از دستکشهای بدون الیاف برای لمس کوارتز استفاده کنید.