در محیط کارخانه، تغییر دمای 1°C در طول آنیلینگ یا پخت فوتورزیست خود را نشان نمیدهد—این تغییر صرفاً حاشیه شما در یکنواختی CD و همپوشانی را کاهش میدهد. ویفر مذاکره نمیکند. یا قبول میشود یا نمیشود.
ما لامپهای مادون قرمز آنیلینگ نیمهرسانا را بهگونهای ساختیم که رفتار حرارتی را درون پنجره فرآیند، چرخه به چرخه، حفظ کنند.
آنچه واقعاً زیر سطح اهمیت دارد
لامپهای NIR ما با گرمایش سریع و مستقیم به ویفر برخورد میکنند و یکنواختی در سطح ویفر را در ±0.1°C در طول شات حفظ میکنیم. پاسخ کوتاهموج در کمتر از یک ثانیه نقطه تنظیم را دنبال میکند، بنابراین پروفایلهای افزایش دما به دستورالعمل وفادار میمانند.
اجزای کوارتز و بازتابندههای مهندسیشده تولید ذرات را به صفر میرسانند، که در شرایط کار در اتاقهای تمیز کلاس 1–100 اهمیت دارد. تکرارپذیری خروجی بیش از 5,000+ ساعت حفظ میشود، با تغییر کمتر از 5٪. کنترل حلقه بسته با بازخورد دمای یکپارچه، بودجه حرارتی را کنترل میکند، بنابراین پخت نرم و پخت سخت از دستهای به دسته دیگر ثابت میمانند.
علت کارکرد این سیستم در لیتوگرافی و آنیلینگ
در لیتوگرافی و آنیلینگ، شما به «حرارت» نیاز ندارید؛ به حرارت قابل پیشبینی نیاز دارید. یکنواختی دقیق نقصهای لبهای را کاهش میدهد و میزان بازکاری را پایین نگه میدارد، در حالی که تکرارپذیری پایدار توزیع روی ویفرها را فشردهتر میکند.
پاسخ سریع باعث کوتاهتر شدن مدت زمان غوطهوری حرارتی میشود، بنابراین میتوانید بهرهوری را افزایش دهید بدون اینکه دقت پروفایل را از دست بدهید. مصرف انرژی کاهش مییابد زیرا انرژی مستقیماً به ویفر منتقل میشود، نه به گرم کردن محفظه. قابلیت اطمینان به معنای تعویض کمتر لامپها، نگهداری برنامهریزیشده کمتر و کاهش شگفتیها است.
مواردی که قبل از راهاندازی باید بررسی شوند
این لامپها به تجهیزات حرارتی سازگار نیاز دارند—کنترلرهایی که نوع سنسور را بپذیرند و بتوانند دنباله افزایش/غوطهوری دما را بهصورت دقیق اجرا کنند. تلرانسهای همترازی و نصب دقیقاند، بنابراین پیش از نصب، فاصلههای مکانیکی و پروفایل پرتو را با هندسه محفظه تطبیق دهید.
در زمان افزایش دما انتظار افزایش کمی در تقاضای پیک داشته باشید. پنجره فرآیند زمانی تمیزتر باقی میماند که الکترونیک قدرت متناسب با آن طراحی شده باشد.