Remplacement de la lampe RTP Mattson

Thu, 25 Jun 2026 04:37:13 +0800

Sur le plan de fabrication, la panne d’une lampe dans un outil RTP ne signifie pas simplement que la machine cesse de fonctionner : cela entraîne également l’arrêt de toute la lignée de production. Les wafers ne parviennent plus à atteindre leur température optimale. Les profils de résistance photochimique commencent à varier. Soudain, le contrôle de la largeur de bande et la reproductibilité de l’épaisseur du film se détériorent. Les lampes de remplacement Mattson sont conçues pour assurer un traitement thermique fiable, précis et continu.

Lampe RTP hautement cotée pour la fabrication

Fri, 19 Jun 2026 05:51:27 +0800

Dans les usines de fabrication, les fluctuations thermiques ne s’accompagnent jamais d’aucun avertissement. On les perçoit à travers des variations dans les dimensions critiques des composants, des stries sur les parois latérales, ainsi que grâce au comportement différent du photorésistant d’un lot à l’autre. Lorsque la lampe commence à ne plus fonctionner correctement, le budget thermique est affecté, ce qui entraîne une augmentation silencieuse des déchets produits.

Ce qui est important sur le plan technique Nous avons conçu cette lampe pour être utilisée en environnement de classe 1–100, en utilisant des émetteurs halogènes à ondes courtes intégrés dans un boîtier en quartz. Cela permet d’obtenir une uniformité au niveau de la wafer de ±0,1°C pendant toute la durée du processus, ainsi qu’une répétabilité suffisante pour que les paramètres de cuisson restent stables d’un cycle à l’autre.

RTP on Quality Infrared Heating Products

Remplacement de la lampe RTP Mattson

Lampe RTP hautement cotée pour la fabrication