בתהליך הליתוגרפיה, עלייה קלה בטמפרטורה של חצי מעלה בלבד עלולה לפגוע בשליטה בממדים החיוניים של המוצר. שאריות החומרים המסיסים בחומר הפוטורזיסט נעשות בלתי צפויות, וכתוצאה מכך ירדה רמת האיכות של המוצר. עיצבנו את החיממים בעלי האינפרא-אדום כך שיבטלו את השינויים האלו.
מה חשוב בפועל? אנו משתמשים בגופי פליטה באורך גל קצר, עם תגובה מהירה ושליטה מדויקת בספקטרום האור. כך, העלייה בטמפרטורה נעשית במהירות, ללא חריגות. ניתן להשיג אחידות של ±0.1°C על פני כל שטח החימום, כאשר הערכים האלו מוודאים בתנאי הייצור האמיתיים. החיממים עומדים בתקני ISO Class 1–100 – אין יצירת חלקיקים והפליטה של גזים נשלטת, כך ששלמות החומר נשמרת. האחידות נשמרת בטווח של ±0.2°C בין תהליכי חימום שונים, מה שמאפשר יציבות בתהליך הייצור לאורך אלפי ואפים.
למה זה חשוב בפועל? החימום העדין או החזק נועדו להביא לתנאי חימום מדויקים. גופי הפליטה באינפרא-אדום מקצרים את זמן התהליך, ובמקביל מייצבים את כמות החומרים המסיסים שנשארים בחומר הפוטורזיסט. זה משפר את אחידות רוחב הקווים במוצר, ומפחית את הצורך בעבודות תיקון. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שאנו מחממים רק את החומר עצמו, ולא את קירות התא. האמינות של החיממים גבוהה, והם מתאימים לשימוש 24/7, עם זמן עבודה ארוך ומינימום הפסקות בלתי צפויות.
ההתקנה כוללת התאמת החיממים לתא הייצור והפעלת מעגל חשמלי ייעודי. החיממים עובדים עם מערכות הובלת ואחסון סטנדרטיות, אך יש צורך לבדוק את החיבור התרמי שלהם לכל מערכת. תהליך ההפעלה קצר – ניתן לקבוע את פרופילי החימום ולוודא את האחידות. לאחר ההגדרה, התהליך נשאר יציב.