अपनी उत्पादन प्रक्रिया को नष्ट होने से बचाएं।
यदि आप क्लास 100 स्तर का क्लीनरूम चला रहे हैं, तो आपको इस समस्या का अहसास ही होगा। धूल का एक छोटा सा कण या हीटिंग एलिमेंट से निकलने वाला कोई सूक्ष्म कण, MEMS सेंसर वेफर पर गिर जाता है… और फिर आपके उत्पादन में कमी आ जाती है। यह बहुत ही निराशाजनक है… और सच कहें तो, यह बहुत ही महंगा भी है।
इसीलिए हमने उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज IR लैंपों का उपयोग शुरू किया। इनमें कोई कण नहीं होते… न ही कोई गैस निकलती है… बस साफ-सुथरी गर्मी ही मिलती है।
क्वार्ट्ज क्यों महत्वपूर्ण है?
आम काँच, ऐसी गर्मी को सहन नहीं कर पाता… और वह टूट जाता है… या फिर उससे वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड्स (VOCs) निकलने लगते हैं। हम फ्यूज्ड सिलिका का उपयोग करते हैं… क्योंकि यह गर्मी के बावजूद भी स्थिर रहता है।
क्वार्ट्ज को एक “तिजोरी” के रूप में ही समझें… यह टंगस्टन फिलामेंट को क्लीनरूम के वातावरण से अलग रखता है… आपको आवश्यक गर्मी मिलती है… लेकिन कोई भौतिक संपर्क नहीं होता… इसलिए कोई दूषित पदार्थ वेफर पर नहीं जा पाता… यह तो बहुत ही सुरक्षित तरीका है।
गर्मी को सही तरीके से नियंत्रित करना
MEMS ड्रायिंग प्रक्रिया में तेजी आवश्यक है… आपको उन तरल पदार्थों को जल्दी से वाष्पीकृत करना होता है… लेकिन आप वेफर पर अत्यधिक गर्मी नहीं लगा सकते।
हमारे IR लैंप, छोटी तरंगदैर्घ्य वाली विकिरण ऊर्जा का उपयोग करते हैं… जिससे तरल पदार्थ जल्दी ही वाष्पीकृत हो जाता है… हम वॉटेज एवं वोल्टेज को आपके वेफर के आकार के अनुसार समायोजित कर सकते हैं… इसलिए यह “एक ही आकार, सभी के लिए” वाला विकल्प नहीं है।
लेकिन ध्यान रखें… जब आप इन लैंपों को अधिकतम स्तर पर उपयोग करते हैं, तो उनके छोर बहुत ही गर्म हो जाते हैं… ऐसी स्थिति में आपको अपने क्लीनरूम के लिए ठोस हीट सिंकिंग सिस्टम या वॉटर-कूल्ड जैकेट आवश्यक है… वरना आपके क्लीनरूम का ढाँचा विकृत हो सकता है… और कोई भी ऐसी स्थिति से निपटना नहीं चाहेगा।
लैंपों को कनेक्ट करना एवं उन्हें चालू रखना
हमने कनेक्टरों को मानक रूप में ही रखा… क्योंकि हम चाहते हैं कि ये आपके मौजूदा ड्रायिंग मॉड्यूलों के लिए आसानी से उपयोग में आ सकें।
इनका आकार बहुत ही छोटा है… इसलिए आप इन्हें वेफर के निकट रख सकते हैं… जिससे दक्षता बढ़ जाती है… हमने चिपकने वाले पदार्थों एवं कोटिंगों का उपयोग भी नहीं किया… क्योंकि ये धीरे-धीरे ही टूट जाते हैं… इसके बजाय, ये तो बस एक साफ-सुथरा, यांत्रिक संयोजन ही है।
और जब कोई लैंप खराब हो जाता है? तो आप बस उसे बदल देते हैं… आपको अपने क्लीनरूम की पूरी थर्मल सिस्टम को पुनः कैलिब्रेट करने की आवश्यकता नहीं है… आप तुरंत ही काम जारी रख सकते हैं।