लाइन पर
तापमान परिवर्तन एक सफेद बोर्ड की समस्या नहीं है। यह लाइन चौड़ाई में भिन्नता, फोटोरेसिस्ट जो सॉफ्ट बेक के बाद चिपकता नहीं है, और मंथ के अंत में महसूस होने वाले यील्ड हिट के रूप में प्रकट होता है। लिथोग्राफी और फोटोरेसिस्ट प्रोसेसिंग में, बेक चरण थर्मल बजट सेट करता है। यदि गर्म क्षेत्र सेटपॉइंट को वेफर के पार नहीं रख सकता, तो पुनरावृत्ति टूट जाती है।
हमने इसके चारों ओर क्या बनाया
हमने 2700W क्लियर क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड ट्यूब को एक ही चीज़ के चारों ओर डिजाइन किया: प्रक्रिया के लिए आवश्यक स्थान पर स्थिर गर्मी। क्वार्ट्ज शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड को साफ़ तरीके से संप्रेषित करता है, इसलिए प्रतिक्रिया तेज़ है और नियंत्रण सघन रहता है। 2700W रेटिंग आपको दरवाजे के चक्रों के बाद जल्दी पुनः प्राप्त करने के लिए शक्ति घनत्व देती है बिना ओवरशूट के। गर्म क्षेत्र के चारों ओर, हम वेफर-स्तरीय समानता को ±0.1°C के भीतर लक्षित करते हैं, ताकि महत्वपूर्ण आयाम हर बार मानक में रहें।
यह उत्पादन में क्यों टिकता है
यह ट्यूब सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक स्टेशनों के लिए थर्मल स्टैक में सीधे गिरती है, जो फोटोरेसिस्ट प्रोफाइल को स्थिर रखने में मदद करती है और आपको दोषों पर अधिक मार्जिन देती है। यह Class 1 से Class 100 के क्लीनरूम में कम आउटगैसिंग और कोई कण उत्पादन के साथ चलती है, इसलिए आप वेफर पर कणों की संख्या से नहीं लड़ रहे हैं। इसका लाभ बेहतर प्रक्रिया सहिष्णुता, कम एक्सकर्शन, और रखरखाव के अंतराल है जिनके चारों ओर आप योजना बना सकते हैं। ऊर्जा भी अनुशासित रहती है, क्योंकि ट्यूब न्यूनतम स्टैंडबाय हानि के साथ मांग पर गर्म होती है।
क्या देखना है
क्लियर क्वार्ट्ज प्रदर्शन करता है, लेकिन इसे सम्मान की आवश्यकता होती है। इसे साफ़ दस्ताने के साथ संभालें और Class-रेटेड फिक्स्चर का उपयोग करें—अन्यथा आप सतह संदूषण का जोखिम उठाते हैं। रिफ्लेक्टर ज्यामिति और एयरफ्लो को ट्यूब से मिलाएं; यदि आप ऐसा नहीं करते हैं, तो गर्म स्थान और असमान समानता वापस आ जाएगी। माउंट में थर्मल-मैकेनिकल तनाव के लिए योजना बनाएं। थर्मल विस्तार वास्तविक है, और असमानता समय के साथ बदल जाएगी।