फैक्ट्री में, किसी उपकरण का खराब होना केवल रखरखाव की समस्या ही नहीं है… यह तो उत्पादन दर एवं समय-सारणी पर भी प्रभाव डालता है। जब किसी मॉड्यूल की मरम्मत आवश्यक होती है, या किसी उपकरण को पुनः उपयोग हेतु तैयार करना होता है, तो गलत ताप-स्रोत के कारण कण उत्पन्न हो सकते हैं, जिससे उपकरण में दूषित पदार्थ जम सकते हैं। इसी कारण हमने ऐसी स्थितियों हेतु इन्फ्रारेड हीटर विकसित किए हैं।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज संरचना में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं। इससे तेज़ एवं निर्देशित ताप-प्रवाह प्राप्त होता है, एवं तापमान पर अच्छा नियंत्रण भी रहता है। गर्म क्षेत्र में तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है, एवं सेटपॉइंट की पुनरावृत्ति भी सीमित सीमा में ही होती है… जो कि सर्विस के बाद फोटोरेसिस्ट को पुनः तैयार करने हेतु आवश्यक है।
हीटर का डिज़ाइन क्लास 1–100 के क्लीनरूमों के लिए उपयुक्त है… इसकी सतहें कणों के उत्पन्न होने एवं गैसों के निकलने को नियंत्रित करती हैं। इसका अर्थ है कि मरम्मत एवं परीक्षण हेतु हीटरों का उपयोग करते समय कण-संबंधी चेतावनियाँ नहीं आतीं, एवं अतिरिक्त वेफरों की आवश्यकता भी नहीं पड़ती।
यह क्यों कारगर है?
वेफरों को सुखाना, फोटोरेसिस्ट को नरम/कठोर अवस्था में लाना, पैकेजिंग प्रक्रियाएँ, एवं सफाई के बाद वेफरों को सुखाना – इन सभी प्रक्रियाओं में तापमान पर अच्छा नियंत्रण आवश्यक है। हमारे इन्फ्रारेड हीटर तेज़ी से तापमान प्रदान करते हैं… इससे प्रक्रियाओं में लगने वाला समय कम हो जाता है।
अच्छी एकरूपता के कारण लिथोग्राफी के बाद वेफरों की सतहों में अंतर नहीं आता… एवं स्थिर पुनरावृत्ति के कारण मरम्मत के बाद प्रक्रियाओं का परिणाम पूर्वानुमेय रहता है। तेज़ प्रतिक्रिया एवं कम ऊष्मा-मात्रा के कारण ऊर्जा की खपत कम हो जाती है… एवं एमिटरों का जीवनकाल लंबा हो जाता है… इससे आवश्यक स्पेयर पार्ट्स की संख्या कम हो जाती है।
ध्यान देने योग्य बातें:
हीटर को सही तरीके से स्थापित एवं संरेखित करना आवश्यक है… हीटर को उपकरण की “हॉट-ज़ोन” के आकार के अनुरूप ही होना चाहिए… ताकि कहीं भी अतिरिक्त गर्मी न पैदा हो। आउटपुट तीव्रता वोल्टेज पर निर्भर है… इसलिए आपके वोल्टेज स्रोत का स्थिर होना आवश्यक है… वोल्टेज में उतार-चढ़ाव के कारण तापमान में भी उतार-चढ़ाव हो सकता है।
फोटोरेसिस्ट को तैयार करने से पहले हीटर को थोड़ी देर के लिए गर्म होने देना आवश्यक है।