अर्धचालकों के उपचार में ओजोन से छुटकारा पाना
जब अर्धचालकों का निर्माण किया जाता है, तो “स्वच्छता” केवल एक पसंद नहीं है – बल्कि यही मुख्य लक्ष्य है। आपको ऐसी प्रक्रियाओं की आवश्यकता है जिससे कि कोई भी अवशेष या रसायन बचे ही नहीं।
समस्या यह है कि पुरानी ऊष्मा-पैदा करने वाली तकनीकें आज के पर्यावरण-अनुकूल एवं लेड-रहित मानकों को पूरा नहीं कर पातीं। इसी समस्या का समाधान है हमारे ओजोन-मुक्त इन्फ्रारेड लैंप।
“मानक” इन्फ्रारेड लैंपों की समस्याएँ
मानक शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड लैंप 185नैनोमीटर से 250नैनोमीटर तरंगदैर्घ्य में विकिरण उत्पन्न करते हैं। जब यह विकिरण हवा में मौजूद ऑक्सीजन से मिलता है, तो ओजोन उत्पन्न हो जाता है।
स्वच्छ कक्षों में ओजोन एक बड़ी समस्या है – यह एक प्रदूषक है, जो संवेदनशील घटकों को नष्ट कर देता है, एवं वहाँ काम करने वाले लोगों के लिए हवा को असुविधाजनक/खतरनाक बना देता है।
हमने इस समस्या का समाधान चयनात्मक फिल्टर वाले विशेष क्वार्ट्ज आवरणों का उपयोग करके किया। यह वास्तव में एक “ढाल” की तरह काम करता है – यह VUV विकिरणों को रोक देता है, लेकिन ऊष्मा को अंदर जाने देता है। इससे आपको आवश्यक गर्मी मिल जाती है, लेकिन कोई रासायनिक प्रदूषण नहीं होता।
इन लैंपों का उपयोग
ये लैंप छोटे स्थान में भी बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न करते हैं। चूँकि ऊर्जा विकिरण के माध्यम से ही पहुँचती है, इसलिए पूरे कक्ष को गर्म करने में समय नहीं लगता। यह आपके ऊर्जा-खर्च के लिहाज से बहुत फायदेमंद है।
लेकिन ध्यान रखें – अपनी ऊर्जा-घनत्व सीमा पर ध्यान दें। यदि आप तेज़ गति से उपचार करने हेतु उच्च-वाटेज वाले लैंपों का उपयोग करते हैं, तो तापमान बहुत अधिक हो जाता है। इसलिए अपने कूलिंग फैनों एवं हीट सिंकों की क्षमता की जाँच जरूर करें। यदि वे इस भार को संभाल नहीं पाते, तो क्वार्ट्ज खराब हो जाएगा, और कोई भी ऐसी स्थिति से नहीं निपटना चाहेगा।
वास्तविक उपयोग
हम देख रहे हैं कि लोग सोल्डर मास्क या फोटोरेजिस्टों के उपचार हेतु पुराने ओवनों के बजाय इन लैंपों का उपयोग कर रहे हैं।
यह एक सरल प्रक्रिया है – आपको हवा से ओजोन हटाने हेतु बड़ी एवं महंगी वेंटिलेशन प्रणालियों की आवश्यकता नहीं है। आप बस इन लैंपों को जोड़ दें, उनका टाइमर सेट कर दें… और कुछ ही सेकंड में आपका सब्सट्रेट सही तापमान पर पहुँच जाता है।
यह न केवल अधिक स्वच्छ है, बल्कि तेज़ भी है… एवं यह वैश्विक पर्यावरण-मानकों के अनुरूप भी है।