फैब लेवल पर, थर्मल एक्ससर्शनों के बारे में कोई चेतावनी संकेत नहीं होता। ऐसी समस्याएँ क्रिटिकल डाइमेंशनों में परिवर्तनों, साइडवॉल पर दरारों, एवं फोटोरेजिस्ट के व्यवहार में अंतर के रूप में देखी जाती हैं। जब लैंप का प्रदर्शन कम होने लगता है, तो थर्मल बजट बिगड़ जाता है, और अपशिष्ट मात्रा में वृद्धि होने लगती है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमने इस RTP लैंप को क्वार्ट्ज असेंबली में शॉर्ट-वेव हैलोजन एमिटरों के साथ बनाया है… क्योंकि तेज़ रैम्प रेट एवं सटीक स्पेक्ट्रल नियंत्रण आवश्यक है। इसका परिणाम है कि प्रक्रिया के दौरान वेफरों पर तापमान स्थिर रहता है, एवं प्रक्रिया के हर चरण में उत्पादकता स्थिर रहती है।
यह सिस्टम क्लीनरूम क्लास 1–100 में काम करने हेतु डिज़ाइन किया गया है… इसमें कोई कण उत्पन्न नहीं होता, एवं सील्ड थर्मल पथ के कारण गैसें चेंबर में नहीं घुस पातीं। यह 24/7 काम करता रहता है, एवं लैंप का आउटपुट 5,000+ घंटों तक स्थिर रहता है… एवं इसमें 5% से भी कम की गिरावट होती है।
आपके लिए इसका महत्व क्या है?
यह लैंप लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण हेतु उपयुक्त है… सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक तापमानों के कारण चिपों की गुणवत्ता एवं प्रोफाइल नियंत्रित रहता है। जब तापमान नियंत्रण बेहतर होता है, तो पुनः प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है, अपशिष्ट मात्रा कम हो जाती है, एवं उत्पादकता बढ़ जाती है।
यह ऊर्जा दक्षता के लिए भी उपयोगी है… लैंप तेज़ी से निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है, एवं स्थिर थर्मल चक्रों के कारण वेफरों पर तनाव कम हो जाता है… जिससे उपकरणों का प्रदर्शन बेहतर हो जाता है। परिणामस्वरूप उत्पादकता बढ़ जाती है, उपकरणों का उपयोग समय बढ़ जाता है, एवं प्रति वेफर लागत कम हो जाती है।
इसे कार्यात्मक बनाने वाले विवरण
इसकी स्थापना आसान है… लेकिन इसका प्रदर्शन उपकरण के सॉकेट एवं कूलिंग इंटरफेस के अनुरूप होने पर ही अच्छा रहता है। वोल्टेज एवं कनेक्टर प्रकार की जाँच अवश्य करें… एवं चेंबर के ऑप्टिक्स एवं सेंसरों का कैलिब्रेशन भी लैंप के स्पेक्ट्रम के अनुरूप होना आवश्यक है।
प्रक्रिया के दौरान नियमित रूप से लैंप को बदलना आवश्यक है… लंबे समय तक उपयोग करने पर भी नियमित रूप से लैंप बदलने से उत्पादकता बनी रहती है, एवं कणों की मात्रा भी नियंत्रण में रहती है।