Hentikan proses pengeringan yang merusak hasil produksi Anda
Jika Anda menggunakan ruang bersih kelas 100, tentu Anda sudah tahu betapa merepotkannya situasi ini. Sebuah partikel debu kecil atau serpihan mikroskopis dari komponen pemanas yang jatuh ke permukaan wafer sensor MEMS dapat menyebabkan penurunan kualitas permukaan wafer tersebut. Hal ini tentu sangat mengganggu, dan tentu saja biayanya juga mahal.
Itulah sebabnya kami beralih ke lampu IR berbahan kuarsa sintetis berkualitas tinggi. Tidak ada serpihan, tidak ada gas berbahaya yang dihasilkan. Hanya panas yang bersih saja.
Mengapa kuarsa begitu penting?
Sebagian besar kaca tidak mampu bertahan terhadap suhu tinggi tanpa rusak atau melepaskan senyawa organik volatil yang berbahaya. Kami menggunakan silika fusi karena bahan ini tetap stabil meski berada dalam suhu yang sangat tinggi.
Anggaplah lapisan kuarsa sebagai “brankas” yang melindungi filamen tungsten dari lingkungan ruang bersih. Dengan demikian, Anda tetap mendapatkan panas yang diperlukan, namun tidak ada kontak fisik maupun aliran udara yang dapat membawa kontaminan ke permukaan wafer. Ini merupakan cara yang jauh lebih aman untuk bekerja.
Memastikan suhu yang tepat
Kunci dalam proses pengeringan MEMS adalah kelancaran proses penguapan cairan pembilas. Anda perlu menguapkan cairan tersebut dengan cepat, tetapi Anda tidak boleh memanaskan substrat secara berlebihan hingga melebihi batasnya.
Lampu IR kami menggunakan radiasi gelombang pendek yang mampu menembus lapisan cairan tersebut. Kami juga dapat menyesuaikan daya dan tegangan lampu sesuai ukuran wafer yang digunakan, sehingga penggunaannya lebih efektif.
Namun, perlu diingat bahwa ketika lampu dipaksa bekerja pada titik maksimalnya, ujung lampu akan menjadi sangat panas. Anda perlu memastikan bahwa kotak lampu memiliki sistem pendinginan yang baik, agar struktur ruang bersih tidak rusak.
Menghubungkan lampu dan mempertahankan fungsinya
Kami menggunakan konektor standar. Mengapa? Karena kami ingin agar lampu ini dapat digunakan sebagai pengganti modul pengeringan yang sudah ada. Konektor ini memiliki ukuran yang kecil, sehingga dapat dipasang lebih dekat ke permukaan wafer untuk meningkatkan efisiensi. Kami juga tidak menggunakan bahan perekat atau lapisan pelindung, karena bahan-bahan tersebut pasti akan terkelupas akhirnya. Cara pemasangannya pun sederhana, hanya perlu pasang secara mekanis saja.
Dan ketika lampu rusak? Anda hanya perlu menggantinya saja. Tidak perlu menghabiskan waktu berjam-jam untuk menyetel ulang parameter termal di ruang bersih tersebut. Anda bisa langsung kembali bekerja.