Smettete di permettere che il processo di essiccazione rovini i vostri risultati di produzione
Se operate in una sala pulita di classe 100, sicuramente conoscete bene questo problema. Anche una piccolissima particella di polvere o un frammento microscopico proveniente da un elemento riscaldante può finire sulla wafer del sensore MEMS, causando un aumento improvviso della tensione superficiale. Di conseguenza, la qualità dei prodotti diminuisce. È frustrante, e, onestamente, anche costoso.
Ecco perché abbiamo optato per lampade a infrarossi basate su quarzo sintetico ad alta purezza. Nessun frammento, nessuna emissione di sostanze volatili organiche… Solo calore puro.
Perché il quarzo è così importante
La maggior parte dei materiali in vetro non riesce a resistere al calore senza rompersi o rilasciare sostanze volatili organiche. Noi utilizziamo silice fusa, che mantiene le sue proprietà anche quando le temperature diventano estremamente elevate.
Potete pensare all’involucro in quarzo come a una sorta di “busta protettiva”: tiene il filamento di tungsteno lontano dall’ambiente presente nella sala pulita. In questo modo si ottiene il calore necessario, ma senza alcun contatto fisico e senza flussi d’aria che possano trasportare contaminanti sulle wafer. È quindi un metodo molto più sicuro per lavorare.
Come ottenere il calore giusto
Il segreto nell’essiccazione con MEMS è agire rapidamente: bisogna far evaporare rapidamente i liquidi utilizzati per il lavaggio delle wafer. Tuttavia, non si può surriscaldare il substrato. Le nostre lampade a infrarossi utilizzano radiazioni a breve lunghezza d’onda, capaci di penetrare facilmente nel film liquido. Possiamo regolare la potenza e la tensione in base alle dimensioni specifiche della wafer, in modo che il sistema sia adatto esattamente alle esigenze di ogni caso.
Tuttavia, c’è un aspetto importante da tenere a mente: quando si spingono queste lampade al limite per risparmiare qualche secondo durante il ciclo di essiccazione, le loro estremità diventano estremamente calde. È quindi fondamentale che l’involucro delle lampade abbia sistemi di raffreddamento efficaci. Altrimenti, il telaio della sala pulita potrebbe deformarsi… E nessuno vuole affrontare quel problema.
Collegamento e funzionamento continuo
Abbiamo mantenuto i connettori standard. Perché? Perché vogliamo che questi siano semplicemente sostituti diretti dei moduli di essiccazione già presenti. Hanno dimensioni ridotte, quindi possono essere posizionati più vicino alle wafer, migliorando così l’efficienza. Inoltre, abbiamo eliminato gli adesivi e i rivestimenti: questi finiscono sempre per staccarsi con il tempo. Invece, si tratta semplicemente di un collegamento meccanico semplice e affidabile.
E quando una lampada si brucia? Basta semplicemente sostituirla. Non c’è bisogno di passare ore a ricalibrare l’intero sistema termico della sala pulita. Si può tornare subito al lavoro.