Sulla linea, la deriva di temperatura non è un problema da lavagna. Si manifesta come variazione della larghezza della linea, fotoresist che non aderisce dopo la cottura a bassa temperatura e cali di resa che si percepiscono alla fine del mese. Nella litografia e nel processo di fotoresist, il passaggio di cottura stabilisce il budget termico. Se la zona calda non riesce a mantenere il setpoint su tutto il wafer, la ripetibilità va in crisi.
Cosa abbiamo costruito attorno Abbiamo progettato il tubo infrarosso in quarzo chiaro da 2700W attorno a un solo obiettivo: calore stabile dove il processo lo richiede. Il quarzo trasmette l’infrarosso a onde corte in modo pulito, quindi la risposta è rapida e il controllo rimane preciso. La potenza di 2700W offre la densità di potenza necessaria per recuperare rapidamente dopo i cicli di apertura della porta senza overshoot. Su tutta l’area riscaldata, ci proponiamo di ottenere un’uniformità a livello di wafer entro ±0.1°C, in modo che le dimensioni critiche rimangano nei limiti specificati ciclo dopo ciclo. Perché resiste in produzione Questo tubo si inserisce direttamente nel sistema termico per le stazioni di cottura a bassa e alta temperatura, contribuendo a mantenere i profili di fotoresist coerenti e offrendo un margine maggiore sui difetti. Funziona in camere bianche di Classe 1 a Classe 100 con bassa emissione di gas e senza generazione di particelle, quindi non dovete combattere con il conteggio delle particelle sul wafer. Il vantaggio è una migliore tolleranza del processo, meno escursioni e intervalli di manutenzione che potete pianificare. Anche l’energia rimane disciplinata, poiché il tubo si riscalda su richiesta con perdite di standby minime. Cosa tenere d’occhio Il quarzo chiaro funziona, ma ha bisogno di rispetto. Maneggiatelo con guanti puliti e utilizzate supporti classificati; altrimenti rischiate la contaminazione della superficie. Abbinate la geometria del riflettore e il flusso d’aria al tubo; se non lo fate, i punti caldi e l’uniformità irregolare torneranno a farsi sentire. Pianificate lo stress termomeccanico nel montaggio. L’espansione termica è reale e il disallineamento farà sì che l’uniformità si deteriori nel tempo.