Riscaldatore a infrarossi per la preriscaldatura del fotorestist

Mon, 22 Jun 2026 23:24:50 +0800

Nel processo di litografia, anche un leggero cambiamento nella temperatura, pari a mezzo grado, può far sì che il controllo delle dimensioni critiche vada fuori controllo. La quantità di solventi rimasti nel fotorest diventa imprevedibile, e il tasso di produzione ne risente negativamente. Abbiamo progettato i nostri riscaldatori a infrarossi per eliminare questa variabilità.

Cosa è importante davvero
Utilizziamo emettitori a infrarossi a lunghezza d’onda corta, con tempi di risposta rapidi e controllo spettrale preciso. In questo modo, l’aumento della temperatura avviene in modo rapido, senza alcun overshoot. Si ottiene così una uniformità della temperatura su tutta la superficie di cottura, con valori compresi tra ±0,1°C; tale valore viene verificato in condizioni di produzione reali. La compatibilità con le ambienti sterili non è solo una caratteristica secondaria: i riscaldatori soddisfano gli standard ISO Class 1–100, con assenza totale di particelle e riduzione dei gas emessi, così da mantenere integra la struttura del fotorest. La ripetibilità del processo è garantita entro ±0,2°C, il che permette di mantenere stabile il processo anche durante la produzione di migliaia di wafer.

Cuocere in Forno on Quality Infrared Heating Products

Riscaldatore a infrarossi per la preriscaldatura del fotorestist