http://ir-heat-goods.com/ja/tags/%E3%82%A8%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%BF/ Recent content in エミッタ on Quality Infrared Heating Products Hugo ja Sun, 31 May 2026 13:57:59 +0800 http://ir-heat-goods.com/ja/posts/linear-infrared-heating-emitter/ Sun, 31 May 2026 13:57:59 +0800 http://ir-heat-goods.com/ja/posts/linear-infrared-heating-emitter/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="線形赤外線加熱エミッター"></p> <p>ライン上では、ウェハは待たない。数秒間だけの猶予があり、その間にフォトレジストは前のロットと同じ温度プロファイルを経験しなければならない──ソフトベイク、ハードベイク。熱予算は厳しく、許容可能なエネルギーウィンドウはミリジュール単位で管理される。<br> ホットスポットが一か所。冷たいエッジが一か所。数十分の一度の温度ドリフトで、クリティカルディメンション（CD）がずれ、パターンが剥がれ、フィルム内に粒子が埋め込まれることになる。加熱条件が安定しなければ、歩留まりも安定しない。</p>