http://ir-heat-goods.com/ja/tags/%E3%82%AF%E3%83%AA%E3%82%A2/ Recent content in クリア on Quality Infrared Heating Products Hugo ja Fri, 05 Jun 2026 04:01:52 +0800 http://ir-heat-goods.com/ja/posts/clear-quartz-infrared-tube-2700w/ Fri, 05 Jun 2026 04:01:52 +0800 http://ir-heat-goods.com/ja/posts/clear-quartz-infrared-tube-2700w/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="クリアクォーツ赤外線チューブ 2700W"></p> <h1 id="現場での温度ドリフト">現場での温度ドリフト</h1> <p>ライン上での温度ドリフトはホワイトボード上の問題ではありません。それはライン幅の変動、ソフトベーク後に付着しないフォトレジスト、そして月末に実感する歩留まりの低下として現れます。リソグラフィーとフォトレジスト処理において、ベークステップは熱的な予算を設定します。ホットゾーンがウエハ全体で設定値を維持できない場合、再現性は崩れてしまいます。</p>