http://ir-heat-goods.com/ja/tags/%E3%83%8A%E3%83%8E%E3%83%81%E3%83%A5%E3%83%BC%E3%83%96/ Recent content in ナノチューブ on Quality Infrared Heating Products Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 04:51:38 +0800 http://ir-heat-goods.com/ja/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ Fri, 26 Jun 2026 04:51:38 +0800 http://ir-heat-goods.com/ja/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="カーボンナノチューブ製造用ヒーター"></p> <p>リソグラフィーの工程においては、歩留まりは数度の違いで大きく変わってしまいます。ソフトベイク時に2℃の温度変動があると、CDの精度が悪化してしまいます。また、均一でない硬化処理を行うと、ラインエッジの粗さが生じてしまいます。そこで、ウェーハの<a href="https://o-yate.net">乾燥</a>やフォトレジストのプリベイク、ハードベイクの際に発生する熱的な不確実性をなくすために、カーボンナノチューブを利用したヒーターを開発しました。</p>