http://ir-heat-goods.com/ja/tags/%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%88%E3%83%AC%E3%82%B8%E3%82%B9%E3%83%88/ Recent content in フォトレジスト on Quality Infrared Heating Products Hugo ja Mon, 22 Jun 2026 23:24:50 +0800 http://ir-heat-goods.com/ja/posts/photoresist-pre-bake-infrared-heater/ Mon, 22 Jun 2026 23:24:50 +0800 http://ir-heat-goods.com/ja/posts/photoresist-pre-bake-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="フォトレジストのプリベイク用赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィーの工程において、わずか0.5度程度の温度変動でも、重要な寸法制御が失われてしまいます。フォトレジスト内の溶剤の残存量も予測不可能になり、歩留まりも低下してしまいます。私たちは、このような不確実性を排除するために、特別に設計されたフォトレジスト用の予熱用赤外線ヒーターを開発しました。</p>