揮発性化学物質の周辺での赤外線加熱をどう扱うか 半導体洗浄ラインを運用している人なら、この問題はよくわかるでしょう。使用される溶剤は、ちょっとしたことで火がついてしまう危険性があります。そんな状況で、高温度の赤外線ランプをその中に投入したらどうなるでしょうか？それは大変危険な状況になります。 解決...

OEM半導体ヒーター：仕様書の数値が実際に意味するもの つまり、ここで言うのは、OEM半導体ヒーターとして製造された国内製の赤外線ヒーターのことです。重要な疑問は、このヒーターが高価な輸入部品と同じように使えるかどうかということです。 簡単に言えば、それは数値次第です。 これらのヒーターは、電圧や...

ライン上では、ウェハは待たない。数秒間だけの猶予があり、その間にフォトレジストは前のロットと同じ温度プロファイルを経験しなければならない──ソフトベイク、ハードベイク。熱予算は厳しく、許容可能なエネルギーウィンドウはミリジュール単位で管理される。 ホットスポットが一か所。冷たいエッジが一か所。数十...