http://ir-heat-goods.com/ja/tags/%E7%82%AD%E7%B4%A0/ Recent content in 炭素 on Quality Infrared Heating Products Hugo ja Thu, 23 Jul 2026 11:35:42 +0800 http://ir-heat-goods.com/ja/posts/carbon-fiber-infrared-lamp-fab/ Thu, 23 Jul 2026 11:35:42 +0800 http://ir-heat-goods.com/ja/posts/carbon-fiber-infrared-lamp-fab/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="カーボンファイバー赤外線ランプ製造工場"></p> <p>クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために<br> もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、粒子が発生するという問題をご存知でしょう。わずかな破片や、<a href="https://henruite.com">安価</a>なヒーターから出るガスすらも、ウェーハや光学コーティングを破壊してしまいます。本当に厄介です。</p> http://ir-heat-goods.com/ja/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ Fri, 26 Jun 2026 04:51:38 +0800 http://ir-heat-goods.com/ja/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="カーボンナノチューブ製造用ヒーター"></p> <p>リソグラフィーの工程においては、歩留まりは数度の違いで大きく変わってしまいます。ソフトベイク時に2℃の温度変動があると、CDの精度が悪化してしまいます。また、均一でない硬化処理を行うと、ラインエッジの粗さが生じてしまいます。そこで、ウェーハの<a href="https://o-yate.net">乾燥</a>やフォトレジストのプリベイク、ハードベイクの際に発生する熱的な不確実性をなくすために、カーボンナノチューブを利用したヒーターを開発しました。</p>