http://ir-heat-goods.com/ja/tags/rtp/ Recent content in RTP on Quality Infrared Heating Products Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 04:37:13 +0800 http://ir-heat-goods.com/ja/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Thu, 25 Jun 2026 04:37:13 +0800 http://ir-heat-goods.com/ja/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="マットソンRTPランプの交換"></p> <p>製造現場において、RTPツール内の1つのランプが故障するだけでも、そのマシンは停止してしまいます。その<a href="https://o-yate.net">結果</a>、生産ライン全体が止まってしまいます。ウェーハの加熱条件も崩れ、フォトレジストの特性も不安定になります。突然、CD精度やフィルム厚さの再現性も悪くなってしまいます。MattsonのRTPランプは、熱処理を安定かつ<a href="https://o-yate.com">正確</a>に行うために設計されています。</p> <p><strong>重要なポイント</strong> 私たちは、迅速で局所的な加熱と安定したスペクトル特性を持つハロゲンランプを使用しています。これにより、アクティブエリア全体で±0.1℃以内の温度均一性が実現されます。また、石英製部品を使用することで、ガス放出が少なく、耐熱衝撃性も高くなります。粒子の発生もほぼゼロに抑えられ、クリーンルームのクラス1～100の基準を満たしつつ、稼働時間を損なうことはありません。これらのランプは24時間365日の運用に適しており、実際のデータでは5,000時間以上にわたって安定した照射性能を保ち、出力の変動も最小限に抑えられています。電力と電圧はMattsonのチャンバーに最適化されており、機械的な接続部分も厳格な toleranceで管理されているため、毎回正確な位置合わせが可能です。</p> http://ir-heat-goods.com/ja/posts/top-rated-rtp-lamp-for-fab/ Fri, 19 Jun 2026 05:51:27 +0800 http://ir-heat-goods.com/ja/posts/top-rated-rtp-lamp-for-fab/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ファブ向け 最高評価のRTPランプ"></p> <p>製造現場では、熱による影響は決して警告のサインとして現れることはありません。それは、ウェハの寸法が変動したり、側壁に傷ができたり、フォトレジストの特性がロットごとに異なったりする形で現れます。ランプの性能が低下すると、熱バランスが崩れ、不良品の発生が増えてしまいます。</p>