왜 공기를 가열하는 것을 그만두고 부품만을 가열해야 할까요?
대부분의 사람들은 대류식 히터에 익숙합니다. 이 히터들은 공기를 데우고, 그 뜨거운 공기가 부품을 데웁니다. 하지만 반도체 청정실에서는 이 방식이 문제를 일으킬 수 있습니다.
기계 내부 전체를 가열하면 모든 것이 열에 노출됩니다. 내벽도 매우 뜨거워집니다. 이는 부품을 다루는 사람들에게 화상의 위험을 줄 뿐만 아니라, 기계의 케이스가 팽창하여 위치가 변할 수도 있습니다. 고정밀 부품을 다룰 때는 이런 상황을 피해야 합니다.
방향성 있는 열 가열의 비결
우리는 다른 방식을 사용합니다. 단파 적외선 램프를 사용하는 것입니다. 적외선 파동은 공기와 상호작용하지 않고 직선으로 전달됩니다. 따라서 에너지가 공기를 거치지 않고 바로 기판에 전달됩니다. 초점을 정확히 맞추고 적절한 반사판을 사용함으로써, 열을 정확히 원하는 곳, 즉 웨이퍼 위에 집중시킬 수 있습니다.
가장 좋은 점은 기계의 벽면이 차가운 상태를 유지한다는 것입니다. 귀중한 기계를 거대한 토스터 오븐처럼 만들 필요 없이, 처리해야 할 부분에만 열을 공급할 수 있습니다.
적외선 사용의 단점
물론 이것도 마법은 아닙니다. 몇 가지 단점이 있습니다. 고출력 적외선 램프는 빠른 가열이 가능하지만, 그만큼 강력한 열을 발생시킵니다. 만약 반사판의 위치가 약간만 틀어지거나 램프가 약간 기울어지면, 기계의 특정 부분에 과열이 발생할 수 있습니다. 따라서 모든 것을 완벽하게 정렬시키기 위해서는 세심한 주의가 필요합니다.
더 안전한 작업 방법
적외선을 사용하면 기계 내부의 “위험 지대”를 크게 줄일 수 있습니다. 벽면이 낭비되는 열을 흡수하지 않으므로, 외부 케이스의 온도도 안전한 수준을 유지합니다. 게다가, 기후가 조절되는 청정실에서 공기를 가열하는 데 드는 전력도 절약됩니다.
이것은 에너지를 보다 효율적으로 사용하는 방법입니다. 방 전체를 가열할 필요 없이, 오직 부품만을 가열하면 됩니다.