http://ir-heat-goods.com/ko/tags/%EB%82%98%EB%85%B8%ED%8A%9C%EB%B8%8C/ Recent content in 나노튜브 on Quality Infrared Heating Products Hugo ko Fri, 26 Jun 2026 04:51:39 +0800 http://ir-heat-goods.com/ko/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ Fri, 26 Jun 2026 04:51:39 +0800 http://ir-heat-goods.com/ko/posts/carbon-nanotube-fabrication-heater/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="탄소 나노튜브 제조용 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는 수율이 몇 도의 차이로 결정됩니다. 소프트 베이크 과정에서 2°C만큼의 온도 변동이 생겨도 CD 제어에 문제가 생기며, 균일하지 않은 경화 과정은 선가장자리의 거칠음을 유발합니다. 그래서 우리는 웨이퍼 건조, 포토레지스트 예비 베이크, 하드 베이크 과정에서 발생하는 열적 문제를 해결하기 위해 탄소나노튜브를 활용한 히터를 개발했습니다.</p>