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생산 공정에서는, 소성 과정 중 온도가 0.5도만 변해도 다시 기회를 얻을 수 없습니다. 포토레지스트를 소성할 때 0.5°C의 온도 변화만으로도 치명적인 결함이 발생할 수 있으며, 그 결과 많은 웨이퍼들이 폐기되게 됩니다. 따라서 예측 가능하고 균일하며 안정적인 열을...