http://ir-heat-goods.com/ko/tags/%EB%A7%A4%ED%8A%B8%EC%8A%A8/ Recent content in 매트슨 on Quality Infrared Heating Products Hugo ko Thu, 25 Jun 2026 04:37:13 +0800 http://ir-heat-goods.com/ko/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Thu, 25 Jun 2026 04:37:13 +0800 http://ir-heat-goods.com/ko/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="매튜슨 RTP 램프 교체"></p> <p>제조 현장에서 RTP 공정에 사용되는 램프 중 하나가 고장 나면, 단순히 해당 기계만 멈추는 것이 아니라 전체 생산 라인이 중단됩니다. 웨이퍼의 열 처리 과정도 제대로 이루어지지 않습니다. 포토레지스트의 특성도 변질됩니다. 그 결과, CD 제어 및 필름 두께의 일관성도 떨어집니다. <a href="https://goldisgood.com">Mattson</a>의 RTP 램프는 열 처리 과정이 안정적으로 진행될 수 있도록 설계되었습니다.</p>