http://ir-heat-goods.com/ko/tags/%EB%B0%9C%EA%B4%91%EC%B2%B4/ Recent content in 발광체 on Quality Infrared Heating Products Hugo ko Sun, 31 May 2026 13:57:59 +0800 http://ir-heat-goods.com/ko/posts/linear-infrared-heating-emitter/ Sun, 31 May 2026 13:57:59 +0800 http://ir-heat-goods.com/ko/posts/linear-infrared-heating-emitter/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="선형 적외선 가열 방출기"></p> <p>라인에서 웨이퍼는 기다리지 않는다. 몇 초 정도, 어쩌면 그 정도의 시간 안에 포토레지스트는 이전 로트와 다음 로트와 동일한 온도 프로파일을 경험해야 한다. 소프트 베이크, 하드 베이크. 열 예산은 촘촘하며 허용 가능한 에너지 범위는 밀리줄 단위로 측정된다.<br> 뜨거운 지점, 차가운 가장자리, 몇십분의 1도 정도의 편차가 생기면 치명적인 치수 변화, 패턴 들뜸, 혹은 필름 내 이물질 혼입으로 이어진다. 가열이 고정되지 않으면 수율도 고정되지 않는다.<br> 우리는 바로 그 순간을 위해 선형 적외선 히팅 에미터를 설계했다. 대량 생산 팹 작업에서 온도 균일성, 클린룸 적합성, 가동 시간은 기본 조건이다. 이 에미터는 엄격한 제어 하에 기판에 반복 가능하고 국부적인 열을 가하며, 포토레지스트 베이크 단계, 웨이퍼 건조, 그리고 열 용량이 낮고 허용오차가 극히 좁은 기타 열 공정에 적합하다.</p>