팹 램프용 석영 유리 보호장치

반도체 제조 공정에서의 열 문제 해결하기 팹 내부의 적외선 방사에 대해 말하자면, 이를 제어하지 않으면 큰 문제가 생깁니다. 적외선은 단순히 에너지를 소모하는 것뿐만 아니라, 값비싼 기계의 내부 벽을 마치 오븐처럼 만들어버립니다. 기계의 외부가 너무 뜨거워지면 심각한...