http://ir-heat-goods.com/ko/tags/%EC%BF%BC%EC%B8%A0/ Recent content in 쿼츠 on Quality Infrared Heating Products Hugo ko Fri, 24 Jul 2026 11:50:19 +0800 http://ir-heat-goods.com/ko/posts/controlling-thermal-radiation-in-semiconductor-fab-lamps-via-quartz-glass-shielding/ Fri, 24 Jul 2026 11:50:19 +0800 http://ir-heat-goods.com/ko/posts/controlling-thermal-radiation-in-semiconductor-fab-lamps-via-quartz-glass-shielding/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="팹 램프용 석영 유리 보호장치"></p> <p>반도체 제조 공정에서의 열 문제 해결하기<br> 팹 내부의 적외선 방사에 대해 말하자면, 이를 제어하지 않으면 큰 문제가 생깁니다. 적외선은 단순히 에너지를 소모하는 것뿐만 아니라, 값비싼 기계의 내부 벽을 마치 오븐처럼 만들어버립니다.<br> 기계의 외부가 너무 뜨거워지면 심각한 문제가 발생합니다. 기계를 만지는 사람들에게는 안전 위험이 되며, 기계 내부의 섬세한 부품들도 손상될 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 우리는 석영 유리로 만든 보호罩를 사용하여 열이 정확히 필요한 곳으로 가도록 합니다.</p> http://ir-heat-goods.com/ko/posts/custom-quartz-heater-solutions-fab/ Mon, 22 Jun 2026 23:33:30 +0800 http://ir-heat-goods.com/ko/posts/custom-quartz-heater-solutions-fab/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="맞춤형 석영 히터 솔루션 제작 업체"></p> <p>생산 공정에서는, 소성 과정 중 온도가 0.5도만 변해도 다시 기회를 얻을 수 없습니다. 포토레지스트를 소성할 때 0.5°C의 온도 변화만으로도 치명적인 결함이 발생할 수 있으며, 그 결과 많은 웨이퍼들이 폐기되게 됩니다. 따라서 예측 가능하고 균일하며 안정적인 열을 공급하는 것이 필수적입니다. 이러한 이유로 저희는 웨이퍼 제조용으로 특수하게 설계된 석영 히터를 사용합니다. 여기서는 열 관리가 단순한 제안이 아니라 필수적인 요소입니다.</p> http://ir-heat-goods.com/ko/posts/clear-quartz-infrared-tube-2700w/ Fri, 05 Jun 2026 04:01:52 +0800 http://ir-heat-goods.com/ko/posts/clear-quartz-infrared-tube-2700w/ <p><img src="http://ir-heat-goods.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="클리어 쿼츠 적외선 튜브 2700W"></p> <p>라인에서 온도 드리프트는 화이트보드 문제로 끝나지 않습니다. 이는 선폭 변동, 소프트 베이크 후에 접착되지 않는 포토레지스트, 그리고 월말에 체감하는 수율 저하로 나타납니다. 리소그래피 및 포토레지스트 처리에서 베이크 단계는 열 예산을 설정합니다. 핫 존이 웨이퍼 전반에 걸쳐 세팅 포인트를 유지하지 못하면 반복성이 무너지게 됩니다.<br> <strong>우리가 구축한 것</strong><br> 우리는 2700W 클리어 쿼츠 적외선 튜브를 하나의 목표로 설계했습니다: 공정이 필요로 하는 곳에서의 안정적인 열입니다. 쿼츠는 단파 적외선을 깨끗하게 전송하므로 반응이 빠르고 제어가 엄격하게 유지됩니다. 2700W의 정격은 문 사이클 후 과도한 오버슛 없이 빠르게 회복할 수 있는 전력 밀도를 제공합니다. 가열된 영역 전반에 걸쳐, 우리는 웨이퍼 수준의 균일성을 ±0.1°C 이내로 목표로 하여, 중요한 치수가 연속적으로 규격 내에 유지되도록 합니다.<br> <strong>생산에서 버티는 이유</strong><br> 이 튜브는 소프트 베이크 및 하드 베이크 스테이션의 열 스택에 바로 장착되어 포토레지스트 프로파일을 일관되게 유지하고 결함에 대한 여유를 제공합니다. 이 튜브는 Class 1에서 Class 100까지의 클린룸에서 낮은 가스 방출과 입자 생성을 통해 작동하므로 웨이퍼에서 입자 수를 관리할 필요가 없습니다. 이점은 더 나은 공정 허용도, 더 적은 편차, 그리고 계획할 수 있는 유지 보수 간격으로 이어집니다. 에너지도 규율을 유지하는데, 왜냐하면 이 튜브는 최소한의 대기 손실로 필요에 따라 가열되기 때문입니다.<br> <strong>주의할 점</strong><br> 클리어 쿼츠는 성능이 뛰어나지만 존중이 필요합니다. 깨끗한 장갑으로 다루고 Class 등급의 장비를 사용하세요. 그렇지 않으면 표면 오염의 위험이 있습니다. 반사경 기하학 및 공기 흐름을 튜브에 맞추세요; 그렇지 않으면 핫 스팟과 불균일성이 다시 나타날 것입니다. 장착 시 열-기계적 스트레스를 고려해야 합니다. 열 팽창은 실제이며, 정렬 불량은 시간이 지남에 따라 균일성의 드리프트를 초래할 것입니다.</p>