Out on the line, drift suhu bukanlah masalah papan putih. Ia muncul sebagai variasi lebar garis, photoresist yang tidak melekat selepas soft bake, dan penurunan hasil yang anda rasa pada akhir bulan. Dalam litografi dan pemprosesan photoresist, langkah bake menetapkan bajet terma. Jika zon panas tidak dapat mengekalkan setpoint di seluruh wafer, kebolehulangan akan rosak.
Apa yang kami bina di sekitar Kami merancang tiub inframerah kuarza jernih 2700W berdasarkan satu perkara: haba stabil di mana proses memerlukannya. Kuarza menghantar inframerah gelombang pendek dengan jelas, jadi tindak balasnya pantas dan kawalan kekal ketat. Penilaian 2700W memberikan anda kepadatan kuasa untuk pulih dengan cepat selepas kitaran pintu tanpa overshoot. Di seluruh kawasan yang dipanaskan, kami menyasarkan keseragaman tahap wafer dalam ±0.1°C, jadi dimensi kritikal kekal dalam spesifikasi dari satu larian ke larian yang lain.
Mengapa ia bertahan dalam pengeluaran Tiub ini terus masuk ke dalam tumpukan terma untuk stesen soft bake dan hard bake, membantu mengekalkan profil photoresist yang konsisten dan memberikan anda lebih banyak margin terhadap kecacatan. Ia beroperasi di bilik bersih dari Kelas 1 hingga Kelas 100 dengan pelepasan gas yang rendah dan tiada penghasilan partikel, jadi anda tidak perlu bergelut dengan jumlah partikel pada wafer. Hasilnya adalah toleransi proses yang lebih baik, kurang pelanggaran, dan selang penyelenggaraan yang boleh anda rancang. Tenaga juga kekal terkawal, kerana tiub memanaskan mengikut permintaan dengan kehilangan siap minimum.
Apa yang perlu diperhatikan Kuarza jernih berfungsi, tetapi ia memerlukan penghormatan. Tangani dengan sarung tangan bersih dan gunakan fixture yang dinilai Kelas—jika tidak, anda berisiko mencemari permukaan. Padankan geometri reflektor dan aliran udara dengan tiub; jika tidak, titik panas dan keseragaman yang tidak sekata akan kembali muncul. Rancang untuk tekanan terma-mekanikal dalam pemasangan. Pengembangan terma adalah nyata, dan salah penjajaran akan menyebabkan keseragaman menyimpang dari masa ke masa.