
Berhentilah memanaskan mesin anda, dan mulailah memanaskan wafer tersebut sahaja.
Jika anda pernah bekerja dengan wafer silikon, anda pasti tahu betapa sukarnya ia. Anda memerlukan suhu yang tepat untuk proses pemprosesan, tetapi lampu inframerah biasa menyebabkan masalah. Sinaran yang dihasilkan oleh lampu tersebut tersebar ke merata tempat.
Masalahnya adalah, tenaga tersebut tidak hanya sampai ke wafer, tetapi juga ke dinding dalaman peralatan tersebut. Akibatnya, bilik pemprosesan yang mahal itu berfungsi seperti radiator yang besar. Ini merupakan pembaziran tenaga, dan lebih buruk lagi, ia membahayakan keselamatan. Tiada siapa yang ingin menggunakan mesin yang terlalu panas sehingga boleh membahayakan pengguna.
Cara kita menyelesaikan masalah ini
Kita mengatasi masalah ini dengan menggunakan cermin reflektor yang sesuai. Daripada menggunakan tiub kuarsa biasa, kita menggunakan cermin reflektor yang khusus untuk mengarahkan sinar inframerah ke arah wafer. Dengan cara ini, tenaga tersebut akan tetap berada di tempat yang sepatutnya. Wafer akan mendapat haba yang diperlukan, sementara permukaan mesin pula tetap sejuk.
Menguruskan intensiti haba
Lampu berkuasa tinggi memang berkesan untuk mempercepatkan proses pemprosesan. Namun, ia juga memberi tekanan yang besar pada sistem penyejukan mesin. Jika aliran udara atau sistem penyejukan tidak mencukupi, suhu mesin akan meningkat secara mendadak. Untuk mengelakkan ini, pastikan pengawal PID disetkan agar sesuai dengan masa tindak balas lampu tersebut. Ini akan membantu mengelakkan suhu mesin daripada melebihi had yang ditetapkan.
Memastikan kualiti pemprosesan
Mengganti lampu tersebut bukanlah perkara yang sukar. Namun, yang penting ialah penyelarasan yang tepat. Jika terdapat kesilapan sedikit saja, ia akan menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas. Ini akan merosakkan kualiti hasil pemprosesan. Kita menggunakan alat bantu yang tepat untuk memastikan fokus sinar inframerah tepat pada pusat wafer setiap kali.
Yang terbaiknya, masalah “dinding panas” akan hilang. Anda boleh menggunakan suhu yang lebih tinggi tanpa perlu risau tentang kerosakan pada komponen mesin atau bahaya kepada pengguna. Mesin akan berfungsi dengan lebih baik, bertahan lebih lama, dan menjaga keselamatan semua orang.