Mengurangkan Penggunaan Karbon dalam Proses Pemanasan Semikonduktor Menggunakan Cahaya Infra Merah dalam Keadaan Vakum
Pembuatan semikonduktor memerlukan ketepatan yang tinggi. Namun, melakukannya dalam keadaan vakum merupakan cabaran besar dari segi penggunaan tenaga. Kebanyakan kilang masih menggunakan kaedah pemanasan resistan, yang sebenarnya sama seperti cuba memanaskan sebiji kacang dengan memanaskan seluruh periuk tersebut. Kaedah ini lambat, membuang banyak tenaga, dan meningkatkan jejak karbon secara drastik.
Kami menggunakan kaedah yang berbeza. Kami menggunakan lampu inframerah yang sesuai untuk digunakan dalam keadaan vakum, agar cahaya tersebut dapat mengenai wafer atau substrat secara langsung. Dengan cara ini, tiada tenaga yang terbuang.
Bagaimana Fiziknya Berfungsi
Dalam keadaan vakum, kita tidak boleh bergantung pada udara untuk mengalirkan haba. Oleh itu, kita perlu menggunakan radiasi untuk memanaskan bahan tersebut. Triknya adalah dengan menyesuaikan panjang gelombang cahaya inframerah agar sesuai dengan apa yang diperlukan oleh bahan tersebut. Dengan cara ini, tenaga dapat disalurkan tepat ke tempat yang diperlukan, iaitu pada permukaan wafer itu sendiri.
Ia merupakan perubahan yang sederhana, tetapi ia dapat mengurangkan penggunaan tenaga untuk setiap wafer secara signifikan.
Membina Kilang yang Tidak Merosakkan Alam Sekitar
Jika anda ingin membina “Kilang Hijau”, anda perlu mempertimbangkan faktor jisim haba. Komponen pemanasan yang berat memerlukan masa yang lama untuk dipanaskan, dan lebih lama lagi untuk disejukkan. Sebaliknya, lampu inframerah hampir tidak mempunyai jisim haba. Anda hanya perlu menekan butang, dan suhu yang diinginkan akan dicapai dalam beberapa saat sahaja.
Ini bermakna tiada lagi masa tunggu yang panjang. Mesin-mesin dapat beroperasi dalam waktu yang lebih singkat untuk mencapai hasil yang sama. Ia merupakan cara yang efisien.
Namun, kami tidak hanya fokus pada kelajuan sahaja. Proses vakum juga memberi tekanan yang besar pada peralatan. Gas yang terlepas dari peralatan boleh merosakkan wafer yang sedang diproses. Untuk mengelakkan hal ini, kami menggunakan kuarsa berkualiti tinggi serta pengedap khusus. Ini memastikan kebersihan bilik vakum, sekali gus mengurangkan sisa bahan yang terbuang.
Hakikat Sebenar Mengenai Kompromi yang Perlu Dibuat
Sebenarnya, tiada alat yang sempurna. Lampu inframerah sangat efektif untuk mengurangkan penggunaan tenaga semasa proses pemanasan, tetapi ia menghasilkan haba yang intensif di kawasan tertentu. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, radiasi tersebut boleh merosakkan pengedap vakum atau sensor-sensor yang digunakan.
Anda tidak boleh sekadar meningkatkan kuasa lampu dan berharap segalanya akan berjalan lancar. Anda perlu menyeimbangkan kuasa lampu dengan kemampuan sistem untuk menyejukkan diri. Jika tidak, anda hanya menukar kos tenaga dengan kos pembaikan.