Op de lithografieafdeling wordt de kwaliteit van het product bepaald door nauwkeurigheid in temperatuurregeling. Een verschil van 2°C tijdens het zachte bakproces kan de controle over de CD-kwaliteit verstoren. En een ongelijkmatige droogtijd? Dat leidt tot oneffenheden aan de randen van de lijnen. Daarom hebben we een heatersysteem op basis van koolstofnanobuizen ontwikkeld, zodat de thermische controle tijdens het drogen van de wijsjes, het voorverhitten van de fotoresist en het harde bakproces nauwkeuriger kan worden geregeld.
Wat belangrijk is onder de motorkap De heater maakt gebruik van koolstofnanobuizen om snel en stabiel infraroodlicht te leveren. Hierdoor blijft de temperatuur op het niveau van de wijsjes binnen een marge van ±0,1°C. De reactietijd is minder dan een seconde, zodat de temperatuur niet te hoog wordt. Hierdoor blijven de dunne lagen beschermd en kan er efficiënt met energie omgegaan worden. Het systeem is geschikt voor gebruik in schone ruimtes met een klasse van 1-100. Tijdens het gebruik worden geen deeltjes geproduceerd. Het systeem werkt 24/7 zonder problemen. De output blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% daling in kwaliteit. Dit zorgt voor herhalbaarheid tussen verschillende batches.
Hoe het er in werkelijkheid uitziet Het zachte bakproces zorgt voor consistente profielen van de fotoresist. Het harde bakproces wordt daardoor eerder herhaalbaar. De wijsjes komen droog uit en voldoen aan de vereisten zonder dat er nog nadere bewerking nodig is. Goede thermische controle verkort de tijd die nodig is om de temperatuur te bereiken, verminderd afval en bespaart energie, omdat de warmte precies waar nodig wordt gebruikt. Hierdoor kunnen de cyclustijden worden verkort, zonder dat de kwaliteit van de CD’s wordt aangetast. Bovendien hoeft men niet vaak de heaters te vervangen – dit systeem kan vele cycli doorstaan zonder dat de kwaliteit afneemt.
Een paar praktische tips U moet de spanning en de aansluitingen van het apparaat goed afstemmen. Ook is optische alignering belangrijk, zodat de belichting over de hele wijsje gelijkmatig is. De heater presteert het beste wanneer de kamer goed afgesloten is; externe luchstromen kunnen namelijk kleine temperatuurschommelingen veroorzaken. Plan een kort testproces in, zodat u de juiste instellingen kunt bepalen voor uw specifieke fotoresist.