Het behouden van een schone wafer tijdens het verwarmen
Wanneer je in een cleanroom van klasse 100 werkt, is er geen ruimte voor fouten. Eén klein stofdeeltje of wat uitgasen van het verwarmingselement kan al tot grote problemen leiden. Het is een nachtmerrie.
Daarom hebben we gestopt met het gebruik van standaardmaterialen en zijn we overgestapt op synthetisch kwarts van hoge zuiverheid voor onze IR-lampen.
Waarom kwarts belangrijk is
Gewoon glas is niet geschikt voor dit doel. Het breekt onder thermische schokken of is gewoon niet zuiver genoeg voor gebruik in halfgeleiderapparatuur. Wij gebruiken gefuseerd kwarts met een lage gehalte aan hydroxylgroepen.
Dit betekent dat de lamp geen microscopisch kleine silicadeeltjes afgeeft wanneer deze zich opwarmt en afkoelt. Bovendien zorgt het kwarts omhulsel voor een goede afsluiting. De wolfraambuis blijft op zijn plek, ver weg van de procesomgeving.
Warmte precies waar je hem nodig hebt (en nergens anders)
Onze IR-lampen richten de energie op een zeer smal spectrum. Dit is het grote voordeel: je kunt de gewenste temperaturen op het oppervlak van de wafer bereiken, zonder dat het hele apparaat oververhit raakt.
De opwarming gebeurt snel. Heel snel zelfs.
Maar er is een nadeel: omdat de warmte zo geconcentreerd is, moet je goed opletten met de koelingssystemen. Als de luchtcirculatie niet goed werkt, kunnen de componenten beschadigd raken. Het is een compromis, maar het is de moeite waard vanwege de snelheid.
Geen lijm, geen stofdeeltjes, geen problemen
We hebben deze lampen ontworpen zodat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. We weten dat stilstand een groot probleem is, dus we hebben ze zo gemaakt dat ze gemakkelijk te vervangen zijn.
We hebben ook geen lijm of coatings gebruikt. Waarom? Omdat die uiteindelijk afbreken. In plaats daarvan gebruiken we mechanische sluitingen die goed blijven functioneren onder vacuüm of onder controleerbare omstandigheden. Het is simpel, mechanisch en schoon.
Een woord van waarschuwing
Houd er rekening mee dat kwarts van hoge zuiverheid broos is. Het kan extreme hitte verdragen, maar het heeft niet veel van trillingen.
Als de bevestigingsonderdelen niet goed zijn geïsoleerd, kan de lamp trillen tegen het frame en daardoor breken. Zodra de vacuümsluiting wordt verbroken, brandt de draad razendsnel door. Houd de lamp stabiel, dan zal hij je goed dienen.