W procesie litografii kluczową rolę odgrywa precyzja kontroli temperatury. Nawet niewielka odchylka o 2°C podczas procesu wytwarzania może wpłynąć negatywnie na jakość powierzchni płytki krzemowej. A jeśli proces utwardzania fotorezystu nie będzie jednolity? To właśnie wtedy powstaje nierównomierność na krawędziach linii na powierzchni płytki. Dlatego stworzyliśmy grzejnik oparty na węglowych nanorurkach, który umożliwia szybką i stabilną dostawę energii mikrofalowej, a także zapewnia jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C. Reakcja grzejnika jest błyskawiczna, więc temperatura nie przekracza ustalonego poziomu – cienkie warstwy pozostają chronione, a zużycie energii jest minimalne. Urządzenie nadaje się do stosowania w pomieszczeniach o czystości od klasy 1 do 100, nie wytwarza żadnych cząstek podczas pracy i charakteryzuje się niezawodnością przez całą dobę. Jego wydajność pozostaje stabilna nawet po 5 000 godzin pracy, z udziałem spadku mniej niż 5%, co zapewnia powtarzalność rezultatów w różnych partiach produktów.
Oto jak to wygląda w praktyce: proces wytwarzania fotorezystu przebiega równomiernie, a utwardzanie fotorezystu jest dokładne i powtarzalne. Płytki krzemowe wychodzą suche i przechodzą inspekcję bez konieczności ponownej obróbki. Precyzyjna kontrola temperatury skraca czas nagrzewania, zmniejsza ilość odpadów i oszczędza energię, ponieważ ciepło jest kierowane tam, gdzie jest potrzebne. Dzięki temu czas cyklu jest krótszy, a stabilność parametrów płytki krzemowej zachowana. Ponadto nie musimy często zmieniać grzejników – ten system oparty na węglowych nanorurkach nadaje się do ciągłego użytkowania bez spadku jakości.
Przed wdrożeniem urządzenia warto uwzględnić kilka praktycznych uwag: należy dopasować napięcie i interfejs złącza urządzenia, a także sprawdzić, czy optyczna orientacja płytki krzemowej jest prawidłowa, aby promieniowanie było równomierne na całej jej powierzchni. Grzejnik funkcjonuje najlepiej, gdy komora jest szczelna – prąd powietrza może powodować niewielkie fluktuacje temperatury. Zaleca się przeprowadzenie krótkiego testu, aby dostosować tempo nagrzewania i ustawić odpowiednie wartości dla danego rodzaju fotorezystu.