W etapie płukania w urządzeniu do litografii istnieje ryzyko powstania śladów po wodzie lub nierównomiernego nagrzewania się powierzchni – to nie jest drobny problem. To bowiem przyczyna powstawania cząstek i błędów wymiarowych. Potrzebny jest grzewiec, który szybko nagrzewa powierzchnię, skutecznie ją wysusza i powtarza ten proces bez pozostawiania wilgoci czy cząstek w strumieniu płynu.
Co jest ważne pod względem technicznym
Stworzyliśmy wodoodporną lampę podczerwoną do etapu płukania – jest to źródło promieniowania krótkofalowego: oprawa z kwarcu, filament halogenowy, szybka reakcja, stabilna moc wyjściowa. Należy wybrać długość fali, którą woda efektywnie pochłania – dzięki temu powierzchnia szybko się nagrzewa, a jednocześnie nie dochodzi do uszkodzenia podłoża. Należy utrzymać jednolitość temperatury w obszarze obróbki na poziomie ±0,1°C, aby temperatura pozostała konsekwentna, a tym samym parametry fotorezystu zachowywały się w normach.
Głowa lampy ma klasę ochrony IP67 – ma hermetyczne elementy oraz obudowę odporną na korozję, więc może funkcjonować nawet w trudnych warunkach. Jest kompatybilna z salami czystymi klasy 1–100, a jej konstrukcja zapobiega powstawaniu cząstek podczas pracy.
Dlaczego to rozwiązanie pasuje do procesu
Podczas czyszczenia i suszenia płytek krzemowych konieczne jest uzyskanie suchej, wolnej od zanieczyszczeń powierzchni po etapie płukania. Lampa podczerwona umożliwia szybkie suszenie, dzięki czemu czas procesu jest krótszy, a zużycie wody zmniejsza się. Szybka regulacja mocy i precyzyjne ustalanie wartości temperatury zapewniają integralność fotorezystu po płukaniu, a profile nagrzewania są spójne pomiędzy poszczególnymi partiami produktu. Wodoodporna konstrukcja eliminuje problemy związane z wyciekami, a stabilna moc wyjściowa umożliwia ciągłą pracę 24/7 z minimalną koniecznością kalibracji.
Co należy uwzględnić przy instalacji
Instalacja polega na prawidłowym ustawieniu lampy oraz zachowaniu odpowiedniej odległości między nią a powierzchnią płytki. Profil natężenia promieniowania jest precyzyjny, więc odległość musi być dobrana tak, aby uniknąć miejsc nadmiernego nagrzewania, a jednocześnie cała powierzchnia była pokryta promieniowaniem. Lampa nagrzewa powierzchnię, więc konieczna jest izolacja termiczna oraz właściwe połączenia elektryczne. Należy dostosować długość fali i gęstość mocy do specyfiki chemicznych środków używanych do płukania oraz do charakterystyk płytek krzemowych. W ten sposób uzyskasz pożądany efekt.