Aquecedor infravermelho para pré cozimento do fotoresist

Mon, 22 Jun 2026 23:24:50 +0800

No processo de litografia, até mesmo uma variação de meio grau na temperatura de cozimento pode fazer com que o controle das dimensões críticas fique fora dos parâmetros desejados. A retenção de solventes no fotorresisto se torna imprevisível, e a taxa de produção começa a diminuir. Por isso, desenvolvemos aquecedores infravermelhos para pré-cozimento do fotorresisto, a fim de eliminar essa variabilidade.

O que é importante em termos técnicos:
Utilizamos emissores infravermelhos de onda curta, com resposta rápida e controle espectral preciso. Isso permite que a temperatura aumente rapidamente, sem ultrapassar os limites desejados. Assim, obtém-se uma uniformidade de temperatura de ±0,1°C em toda a superfície de cozimento, algo que é verificado durante as condições de produção. A compatibilidade com ambientes limpos também é um aspecto importante: os aquecedores atendem aos padrões ISO Class 1–100, sem geração de partículas ou emissão de gases, mantendo assim a integridade do filme fotográfico. A repetibilidade das temperaturas fica dentro de ±0,2°C, o que garante estabilidade no processo ao longo de milhares de wafers.

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