На этапе литографии качество продукции зависит от точности контроля температуры. Даже небольшое изменение температуры во время процедуры мягкой обработки может нарушить стабильность параметров CD. А неоднородное высыхание фотополимера приводит к возникновению неровностей на границах линий. Поэтому мы разработали нагреватель на основе углеродных нанотрубок, который позволяет исключить необходимость теоретических расчетов при сушке пластин, предварительной обработке фотополимера и его окончательной обработке.
Что действительно важно Нагреватель использует углеродные нанотрубки для быстрого и стабильного выделения инфракрасного излучения. Благодаря этому температура на поверхности пластины сохраняется в пределах ±0,1°C. Время реакции нагревателя составляет менее секунды, что позволяет избежать чрезмерного повышения температуры. Тонкие слои остаются защищенными, а энергозатраты снижаются благодаря целенаправленному распределению тепла. Устройство подходит для использования в чистых комнатах классов 1–100; при его работе не образуется никаких частиц. Оно показывает высокую надежность при круглосуточной работе. Эффективность нагревателя сохраняется в течение более 5 000 часов, при этом падение эффективности составляет менее 5%. Это гарантирует одинаковое качество продукции при производстве больших партий.
Как это выглядит на практике Процедура мягкой обработки обеспечивает однородность свойств фотополимера. Процедура окончательной обработки становится предсказуемой. Пластины выходят сухими и проходят проверку без необходимости доработок. Точный контроль температуры сокращает время подготовки оборудования, снижает количество бракованных изделий и экономит энергию, поскольку тепло направляется именно туда, где это необходимо. Это позволяет сократить время выполнения процедур, не жертвуя при этом стабильностью параметров CD. Кроме того, не требуется частая замена нагревателей – этот устройство способно выдерживать множество циклов работы без снижения своих характеристик.
Несколько практических советов Необходимо соответствовать напряжению и интерфейсу подключения оборудования. Также важно правильно настроить оптическую систему для обеспечения однородности излучения на всей поверхности пластины. Нагреватель работает наилучшим образом, когда камера закрыта; сквозняки могут вызывать небольшие колебания температуры. Рекомендуется провести короткий испытательный период для настройки параметров нагревателя под конкретные условия использования.