На линии смещение температуры не является проблемой, которую можно решить на белой доске. Оно проявляется в виде вариаций ширины линии, фоторезиста, который не прилипает после предварительного обжига, и потерь выхода, которые вы ощущаете в конце месяца. В литографии и обработке фоторезиста этап обжига устанавливает тепловой бюджет. Если горячая зона не может поддерживать заданную температуру на всей поверхностиwafer, повторяемость нарушается.
На чем мы сосредоточились
Мы разработали инфракрасную трубку из прозрачного кварца мощностью 2700W с единственной целью: обеспечить стабильное тепло там, где это необходимо в процессе. Кварц чисто пропускает коротковолновое инфракрасное излучение, поэтому реакция быстрая, а контроль остается строгим. Рейтинг 2700W обеспечивает вам плотность мощности, позволяющую быстро восстанавливать температуру после циклов открытия двери без превышения. По всей обогреваемой зоне мы нацеливаемся на однородность на уровне wafer в пределах ±0.1°C, чтобы критические размеры оставались в спецификациях от цикла к циклу.
Почему это работает в производстве
Эта трубка напрямую устанавливается в тепловой блок для этапов мягкого и жесткого обжига, что помогает сохранять профили фоторезиста постоянными и предоставляет вам больше запасов по дефектам. Она работает в чистых помещениях класса 1 до класса 100 с низким уровнем выделения газов и без генерации частиц, так что вам не нужно бороться с количеством частиц на wafer. Преимущество — лучшая толерантность к процессу, меньшее количество отклонений и интервалы обслуживания, которые можно запланировать. Энергия также остается под контролем, так как трубка нагревается по мере необходимости с минимальными потерями в режиме ожидания.
На что обратить внимание
Прозрачный кварц работает, но требует уважения. Обращайтесь с ним в чистых перчатках и используйте крепления с классом защиты — в противном случае вы рискуете загрязнением поверхности. Соответствуйте геометрии отражателя и воздушному потоку трубки; если этого не сделать, горячие точки и неравномерная однородность снова появятся. Планируйте термомеханическое напряжение в креплении. Термальное расширение — реальность, и несоответствие приведет к дрейфу однородности с течением времени.