
Почему стоит прекратить нагрев воздуха? Цифровые инфракрасные системы против обычных систем с горячим воздухом в процессе полупроводниковой обработки
Подумайте о том, как работает обычная печь с горячим воздухом. Сначала нагревается воздух, а затем этот воздух нагревает сам деталь. Этот процесс медленный. В процессе глубокой обработки полупроводников это создает значительные задержки. Вы тратите огромное количество денег и энергии на нагрев стенок печи и воздуха внутри нее, пока сам подложка еще даже не начинает нагреваться. Это пустая трата ресурсов.
Проблема ожидания
Цифровые инфракрасные системы устраняют необходимость в использовании воздуха в качестве проводника тепла. Вместо ожидания, пока воздух нагреется, излучатели инфракрасного света направляют энергию прямо на деталь. Это происходит мгновенно.
В то время как система с горячим воздухом может потребовать нескольких минут, чтобы достичь нужной температуры, система с цифровым контроллером достигает целевой температуры за считанные секунды. Когда вы обрабатываете тысячи пластин или чипов, экономия 30 секунд на один цикл — это не маленькая выгода. Это полностью меняет количество работы, которую можно выполнить за день.
Как правильно контролировать температуру
Нельзя просто направлять инфракрасное излучение без контроля — это может привести к деформации детали. Здесь и приходит на помощь цифровой контроллер.
Мы используем циклы PID для регулировки мощности в реальном времени. Контроллер постоянно следит за температурой поверхности и регулирует мощность ламп, чтобы избежать перегрева. Это лучше, чем старый способ управления с помощью регуляторов воздушного потока. Таким образом, получается равномерное распределение тепла по всей поверхности детали. Нет горячих точек, нет неожиданностей.
Проблема: управление теплом
Инфракрасные системы работают быстро, но при этом выделяют большое количество тепла. Поэтому необходимо умело использовать вентиляторы и радиаторы для охлаждения.
Если не удалить лишнее тепло от электронных компонентов и корпуса ламп, это может привести к их повреждению. Это компромисс, но его можно управлять.
Переход на цифровые инфракрасные системы — это не стремление к роскоши, а способ избавиться от задержек, связанных с использованием воздуха. Вы получаете более компактную систему для сушки, и вам больше не нужно тратить деньги на нагрев воздуха на заводе.