ในกระบวนการลิธโกกราฟีนั้น ค่าความแม่นยำของอุณหภูมิมีความสำคัญมาก หากอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปเพียง 2°C ก็อาจส่งผลเสียต่อการควบคุมความแม่นยำของรูปร่างวงแหวนบนแผ่นวงแหวนได้ และหากการอบแห้งไม่สม่ำเสมอ ก็จะทำให้พื้นผิววงแหวนไม่เรียบเนียน ดังนั้นเราจึงสร้างเครื่องทำความร้อนจากคาร์บอนนาโนทิวบ์ขึ้นมา เพื่อช่วยให้การอบแห้งแผ่นวงแหวน การอบรีเซสต์ และการอบแห้งแบบเข้มข้นเป็นไปอย่างมีประสิทธิภาพ
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เครื่องทำความร้อนนี้ใช้คาร์บอนนาโนทิวบ์เป็นส่วนประกอบหลัก เพื่อสร้างพลังงานอินฟราเรดที่รวดเร็วและมีความเสถียร โดยสามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ได้ที่ ±0.1°C การตอบสนองของเครื่องทำความร้อนนั้นเร็วมาก จึงไม่มีการเกินอุณหภูมิที่กำหนด ทำให้ฟิล์มบางๆ ได้รับการปกป้อง และช่วยประหยัดพลังงาน เครื่องนี้เหมาะสำหรับการใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ระหว่างการใช้งาน และมีความน่าเชื่อถือในการใช้งานตลอด 24/7 อีกทั้งยังมีประสิทธิภาพสม่ำเสมอตลอด 5,000 ชั่วโมงขึ้นไป โดยมีการลดลงของประสิทธิภาพน้อยกว่า 5%
ผลลัพธ์ที่ได้ การอบแห้งแบบอ่อนจะช่วยให้โครงสร้างของรีเซสต์มีความสม่ำเสมอ ส่วนการอบแห้งแบบเข้มข้นก็จะทำให้ได้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอเช่นกัน แผ่นวงแหวนที่ออกมาจะแห้งสนิท และผ่านการตรวจสอบได้โดยไม่ต้องทำการแก้ไขใดๆ การควบคุมอุณหภูมิที่ดีจะช่วยลดเวลาการรอให้อุณหภูมิเหมาะสม ลดขยะที่เกิดจากการผลิต และช่วยประหยัดพลังงาน เพราะความร้อนจะถูกส่งไปยังจุดที่จำเป็นเท่านั้น ดังนั้นจึงสามารถลดเวลาการผลิตได้ โดยยังคงรักษาความแม่นยำของรูปร่างวงแหวนไว้ได้ และไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนเครื่องทำความร้อนบ่อยๆ เพราะระบบคาร์บอนนาโนทิวบ์นี้สามารถทนต่อการใช้งานซ้ำๆ ได้
ข้อควรระวังก่อนใช้งาน คุณต้องให้แน่ใจว่าแรงดันไฟฟ้าและอินเตอร์เฟซการเชื่อมต่อของเครื่องมือนั้นเหมาะสม นอกจากนี้ การปรับทิศทางแสงก็มีความสำคัญเพื่อให้ความเข้มของแสงสม่ำเสมอทั่วทั้งแผ่นวงแหวน เครื่องทำความร้อนนี้จะทำงานได้ดีที่สุดเมื่อห้องมีการปิดผนึกอย่างดี เพราะลมภายนอกอาจทำให้อุณหภูมิเปลี่ยนแปลงได้ ควรมีการทดลองใช้งานสักหน่อยเพื่อปรับอัตราการเพิ่มอุณหภูมิและค่าอุณหภูมิที่เหมาะสมสำหรับรีเซสต์ที่คุณใช้งาน