บนสายการผลิต
การลอยตัวของอุณหภูมิไม่ใช่ปัญหาที่สามารถแก้ไขบนกระดานไวท์บอร์ด มันแสดงออกมาเป็นความแปรปรวนของความกว้างของเส้น, โฟโต้เรซิสต์ที่ไม่ยึดติดหลังจากการอบแบบอ่อน, และการลดผลผลิตที่คุณจะรู้สึกได้ในตอนท้ายของเดือน ในกระบวนการลิธอกราฟีและการประมวลผลโฟโต้เรซิสต์ ขั้นตอนการอบจะกำหนดงบประมาณความร้อน หากโซนร้อนไม่สามารถรักษาค่าจุดตั้งไว้ทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์ ความสามารถในการทำซ้ำจะลดลง
สิ่งที่เราได้สร้างขึ้น เราออกแบบหลอดอินฟราเรดควอตซ์ใสขนาด 2700W โดยมุ่งเน้นไปที่สิ่งหนึ่ง: ความร้อนที่มีเสถียรภาพในที่ที่กระบวนการต้องการ ควอตซ์สามารถส่งผ่านอินฟราเรดคลื่นสั้นได้อย่างสะอาด ดังนั้นการตอบสนองจึงรวดเร็วและการควบคุมจึงแน่นหนา การจัดอันดับที่ 2700W มอบความหนาแน่นของพลังงานเพื่อการฟื้นตัวอย่างรวดเร็วหลังจากรอบการเปิดประตูโดยไม่เกิดการเกินขีดจำกัด ทั่วทั้งพื้นที่ที่ถูกทำให้ร้อน เรามุ่งเน้นความสม่ำเสมอในระดับเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C ดังนั้นมิติที่สำคัญจึงยังคงอยู่ในสเปคในทุก ๆ รอบ
เหตุผลที่มันยังคงใช้งานได้ในกระบวนการผลิต หลอดนี้สามารถติดตั้งได้โดยตรงในสแต็คความร้อนสำหรับสถานีอบแบบอ่อนและอบแบบแข็ง ช่วยรักษาโปรไฟล์ของโฟโต้เรซิสต์ให้สม่ำเสมอและให้คุณมีมาร์จิ้นมากขึ้นในเรื่องของข้อบกพร่อง มันทำงานในห้องสะอาดตั้งแต่ Class 1 ถึง Class 100 ด้วยการปล่อยก๊าซต่ำและไม่สร้างอนุภาค ดังนั้นคุณไม่ต้องต่อสู้กับจำนวนอนุภาคบนเวเฟอร์ ผลลัพธ์ที่ได้คือความสามารถในการทนต่อกระบวนการที่ดีขึ้น, การเบี่ยงเบนที่น้อยลง, และระยะเวลาการบำรุงรักษาที่คุณสามารถวางแผนได้ พลังงานยังคงมีระเบียบเพราะหลอดทำให้ร้อนตามต้องการด้วยการสูญเสียในโหมดสแตนด์บายที่น้อยที่สุด
สิ่งที่ต้องระวัง ควอตซ์ใสมีประสิทธิภาพ แต่ต้องได้รับความเคารพ จัดการด้วยถุงมือที่สะอาดและใช้ชิ้นส่วนที่มีการจัดอันดับคลาส มิฉะนั้นคุณอาจเสี่ยงต่อการปนเปื้อนของพื้นผิว จับคู่รูปร่างของสะท้อนกับการไหลของอากาศให้ตรงกับหลอด; หากไม่ทำเช่นนั้น จุดร้อนและความไม่สม่ำเสมอจะกลับมาอีกครั้ง วางแผนสำหรับความเครียดทางความร้อน-กลศาสตร์ในที่ยึด ความขยายตัวทางความร้อนเป็นเรื่องจริง และการไม่จัดแนวจะทำให้ความสม่ำเสมอลอยตัวไปตามเวลา